無油真空泵在購買時需要注意什么呢？一般我們在購買的時候不怎么注意無油真空泵的選型，但是這往往會導(dǎo)致后期會產(chǎn)生各種麻煩等等。所以下面我們就來詳細介紹下在選擇無油真空泵時需要注意什么。

1、正確地組合無油真空泵。由于無油真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的無油真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的無油真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

2、無油真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵，才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求，同時又能夠長期穩(wěn)定的運行，延長真空泵維修維保時間，節(jié)約運行成本，保證生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率，保證設(shè)備產(chǎn)能。

在CVD、PECVD、ALD等工藝中，真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產(chǎn)品表面薄膜工藝，這些工藝氣體在反應(yīng)過程中有時會大量粉塵或容易結(jié)晶，如果粉塵和結(jié)晶物不能及時排除真空泵外，就容易在真空泵內(nèi)沉積，堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉(zhuǎn)子等卡滯，需要及時下機保養(yǎng)和維護，否則的話就會造成真空泵的更大的損壞，但是干式泵的維護成本又比較昂貴，選擇一臺耐粉塵，維保周期長的真空泵是非常重要的。

無油節(jié)能真空泵主要由機械傳動部分、機械抽氣部分和隔油部分組成，機械傳動部分分為曲柄和連桿機構(gòu)，由電動機帶動皮帶輪，替代無油節(jié)能真空泵報價，然后通過曲軸、連桿、十字頭傳遞給活塞，由皮帶輪的圓周運動變?yōu)榛钊闹本€運動。泵機械抽氣部分主要依靠活塞在汽缸內(nèi)的往復(fù)運動來完成。

一體式真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)具有可擴充，易于維護，噪聲低，占地面積小等顯著特點。手動自動運行的臥式中央式真空系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含無油旋片式和單級油封旋片真空泵，一個碳鋼臥式真空儲氣罐，電磁閥，替代無油節(jié)能真空泵，一套手動自動PLC電氣控制箱，過濾精度2微米的紙質(zhì)濾芯過濾器，數(shù)字式真空開關(guān)等管路組成。