無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。特點(diǎn)：超高過濾效果，可有效的除去對(duì)呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間?！瘟飨蛐蜔o塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要，因此多只需要測量風(fēng)量。

    工業(yè)無塵室用途——以無生命微粒的控制為對(duì)象。5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀(jì)80、90年代）一般無塵室，其風(fēng)速均取在0。無塵室（無塵廠房）主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多種不同行業(yè)。

  在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對(duì)成品率有重大影響，故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲(chǔ)備、除去”四項(xiàng)基本原則以防止微粒子污染。

　　無塵室內(nèi)防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運(yùn)用。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無塵室外排氣，負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對(duì)策。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí)，其綜合經(jīng)濟(jì)性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過濾器滿布率100%時(shí)，對(duì)大的系統(tǒng)采用FFU，當(dāng)前還是不經(jīng)濟(jì)的;對(duì)小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對(duì)潔凈度要求不甚嚴(yán)的潔凈室，末級(jí)過濾器滿布率≤40%時(shí)對(duì)大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟(jì)性往往相差不多，但對(duì)IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC工廠對(duì)過濾器滿布率≤40%時(shí)，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。