擴(kuò)散硅壓力變送器

擴(kuò)散硅壓力變送器具有工作可靠、性能穩(wěn)定、安裝使用方便、體積小、重量輕、性能價(jià)格比高等點(diǎn)，能在各種正負(fù)壓力測(cè)量中得到廣泛應(yīng)用。擴(kuò)散硅壓力變送器采用進(jìn)口擴(kuò)散硅或陶瓷芯體作為壓力檢測(cè)元件，傳感器信號(hào)經(jīng)電子放大器轉(zhuǎn)換成0-10mA或4-20mA統(tǒng)一輸出信號(hào)。壓力變送器可替代傳統(tǒng)的遠(yuǎn)傳壓力表，霍爾元件、差動(dòng)變送器，并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型變送器性能。

擴(kuò)散硅壓力傳感器的基本原理

壓力傳感器的制造中一般利用集成電路平面工藝，用雜志擴(kuò)散或離子注入的方法形成電阻器。擴(kuò)散層被用來(lái)作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器，電流邊與擴(kuò)散層被用來(lái)作為應(yīng)力或應(yīng)變敏感的電阻器，電流便與擴(kuò)散層表面平行流過(guò)電阻器。在壓力傳感器的設(shè)計(jì)。制造時(shí)，需要了解不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性，選擇合適的擴(kuò)散條件，選用一定型號(hào)、晶向的擴(kuò)散電阻以獲得較高的靈敏度和曉得靈敏度系數(shù)，力求使壓力傳感器有良好的性能。

擴(kuò)散層的平均壓阻系數(shù)：擴(kuò)散層中雜質(zhì)往往呈誤差函數(shù)（恒定表面源條件下）或余誤差函數(shù)（恒定表面濃度條件）分布。也就是說(shuō)，表面雜質(zhì)濃度高，電流便呈現(xiàn)不均勻分布。雖然應(yīng)力在電阻的縱剖面是均勻分布的，而壓阻系數(shù)取決于雜質(zhì)濃度。以此在擴(kuò)散層上電阻的改變的百分量是不同的。這又使擴(kuò)散層中電流在縱向中心分布并造成壓阻值和應(yīng)力之間的非線性。

擴(kuò)散層硅的電阻溫度特性與壓力傳感器的熱零點(diǎn)漂移以及熱靈敏度有密切的關(guān)系。