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光學微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(qū)(包括凈化空調系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
光學微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
從大的方面來講,光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分,細分為以下幾道主要工序:
單晶棒生長-單晶棒裁切和檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢查-蝕刻(化學蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋)-洗凈-品質檢查-潔凈包裝
從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產工序,切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產工序。下面以某日資硅片廠為例,介紹光伏新能源硅晶片生產工序的空調凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設計方案。
凈化車間的應用領域十分廣泛,不僅在商場、車站、學校、飯店等公共場所得到普遍應用,在養(yǎng)殖場、工廠、車間、紡織、印染、玻璃、食品生產等工業(yè)生產領域更是隨處可見。
凈化車間工程針對于其他電子信息行業(yè)以及衛(wèi)生行業(yè),還有生物工程以及航空航天等等各種各樣的行業(yè),也都是有著非常廣泛的應用,在如此廣泛的應用過程當中,對于潔凈環(huán)境的打造來說,必須要有專業(yè)的工作團隊來進行設計,才可以更好的保證使用效果,而且針對所有的工作人員,必須要保證接受正規(guī)的培訓。
同時對于凈化車間工程的設計團隊,大家可以選擇專業(yè)的、好的團隊,而且在施工的過程中也可以保證安全和穩(wěn)定的作用,對于標準規(guī)范以及詳細的參數(shù),都可以達到行業(yè)內高的水準,自然可以得到各行各業(yè)使用者的肯定,而且是發(fā)揮了相當強大的作用和功能。