尤其重要的一個方面便是空氣凈化系統(tǒng)，因此要避免因為設備對車間環(huán)境造成污染，把車間設備安裝在服務通道或者非潔凈區(qū)域，如果設備沒有辦法須安裝在潔凈區(qū)域，要采取一些措施減少設備對凈化車間產生的污染，凈化車間的氣流要從高潔凈區(qū)域流向低潔凈區(qū)域，車間流量隔離區(qū)的氣流要保持中性壓力或者負壓，避免氣流強制流出工作區(qū)帶來污染的可能性。

凈化工程是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。凈化要求又通風管道一般采用三級過濾：初效過濾器、中效過濾器、過濾器。過濾器質量的好壞是重點關鍵。凈化車間會配有更衣室，所以改造更衣室后規(guī)定工作人員更換潔凈服的實際，單向氣流進入室內需要經過引導與內部空氣混合。這種氣流會從凈化區(qū)域有方向的輸送顆粒。

凈化空調系統(tǒng)溫濕度精度高

普通空調的舒適性要求一般精度有限。但無塵車間的空調為了滿足工藝要求，應對不同的溫度和濕度差異要求，凈化系統(tǒng)空調的溫度和濕度的精度要求非常高。 必須保證無塵室內恒溫恒濕。而且空調機組還需有制冷加熱、加濕除濕這些功能，而且必須準確調控。

凈化工程空調系統(tǒng)風大

無塵室較重要的功能是過濾空氣中的細菌和塵埃，嚴格把控空氣中粒子，凈化空氣質量使其到達潔凈標準。 凈化工程中空調系統(tǒng)首要特點是風量要足夠大，這樣才能保證無塵車間的潔凈度。 空調風量的大小，主要是根據換氣次數(shù)調定的。 一般來說單向流的無塵室，換氣次數(shù)比較多。

嚴格控制正負壓

所有的凈化生產車間，都必須嚴格防止粉塵和細菌的擴散。 而為了防止病毒和細菌擴散，就必須控制好無塵室內的正負壓。 一般無塵車間都是采用正壓維持，負壓控制。 負壓可以有效對付有毒氣體與可燃可爆物品和溶劑。

凈化空調系統(tǒng)風機風壓頭要高

一般來說無塵車間空調系統(tǒng)都會使用不同等級的過濾器，主要分初級、中級和高等級別這三種。