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相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%?,F(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了,除了專業(yè)人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時候普通寫字樓的20倍,比美國更發(fā)達國家高出了15%??吹竭@些令人心驚的數(shù)字,我們國家的科學家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā),設(shè)計出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。1000級 一般只對塵埃濃度做要求,用于光學器件,儀器等高精儀器等
10000級,用于液壓設(shè)備的生產(chǎn),和一些食品飲料的生產(chǎn)。
100000級,這個級別比較的低,對凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。排風系統(tǒng)有一般排風系統(tǒng)、有機氣體排風系統(tǒng)、酸性氣體排風系統(tǒng)、堿性氣體排風系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計時,要根據(jù)實際情況選擇。凈化工程技術(shù)的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著高、精方向發(fā)展,對凈化車間的依賴度也越來越高。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展,建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高,非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域,凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合,為人們提供更潔凈的生活空間