高純氮氣可以起到保護電熱原件作用

經過試驗表明，現(xiàn)階段所有的熱處理方式都能夠使用高純氮氣完成，并且產品質量較高，生產效率具有保障。高純氮氣是一種中性氣體，主要作用是保護與加熱，還能夠防止鐵制品與銅制品等的氧化脫碳，因此高純氮氣被廣泛運用在光亮退火等工藝中。冶金行業(yè)在進行真空熱處理時，高純氮氣主要起到冷卻的作用，用于低溫工藝的處理。

在進行充氮加壓油淬時，高純氮氣可以起到保護電熱原件作用。在特定的電壓與真空環(huán)境下，氮氣會進行電離作用，實現(xiàn)離子滲氮。在冶金過程中，如果發(fā)生斷電情況，將氮氣充置爐內，就能夠防止爐體發(fā)生燃爆，保障操作的安全性。在冶金行業(yè)中，高純氮氣的使用有效的促進和推動了行業(yè)發(fā)展，并對環(huán)境起到了一定保護作用，但冶金行業(yè)中所需要的氮氣必須要具備較高的品質，氮氣純度必須保持在99.99%～99.999%以上，才能夠達到使用標準。

什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產設備的用氣點。根據(jù)氣體性質和供應包裝的不同。

電子氣體的分類

一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。目前電子消費品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁，同類產品的不同制造規(guī)模、不同級別檔次的生產工廠和科研機構共存。

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括等），以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括，代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括，光纖（氣體種類包括硅材料外延生產線（氣體種類包括等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進的工藝制程設備，用氣需求大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場制氣或工業(yè)園區(qū)管道集中供應方式，一個年產萬片的超大規(guī)模集成電路廠高純氮氣的需求超過，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產線的氫氣需求超過。除了普通鋼瓶（及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括鋼瓶集裝格罐等。

電子氣體污染控制要求日趨嚴格隨著電子消費品的升級換代，產品制造尺寸越來越大，產品良率和缺陷控制越來越嚴格，整個電子工業(yè)界對電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來越苛刻。基本上工業(yè)界對電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術指標，直接與分析儀器技術進步帶來的較低檢測極限（直接關聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測試儀可測到微米，而核凝結技術可達到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經發(fā)展到納米，對于大宗氣體的純度都要求在級別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實驗室超高亮度技術指標已達到以上，對于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級精餾生產技術指標到達的白氨的氫氣需要采用先進的鈀膜純化器提純至。