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常用的光學鍍膜有哪些?
干涉濾光片
是種類多、結構復雜的一類光學薄膜。它的主要功能是分割光譜帶。常見的干涉濾光片是截止濾光片和帶通濾光片。截止濾光片可以把所考慮的光譜區(qū)分成兩部分,一部分不允許光通過(稱為截止區(qū)),另一部分要求光充分通過(稱為帶通區(qū))。按照通帶在光譜區(qū)的位置又可分為長波通和短波通二種,它們簡單的結構分別為,這里H、L分別表示厚的高、低折射率層,m為周期數(shù)。具有以上結構的膜系稱為對稱周期膜系。如果所考慮的光譜區(qū)很寬或通帶透過率的波紋要求很高,膜系結構會更加復雜。
帶通濾光片只允許光譜帶中的一段通過,而其他部分全部被濾掉,按照它們結構的不同可分為法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片。
光學薄膜的結構與法-珀標準具相同,因為由它獲得的透過光譜帶都比較窄,所以又叫窄帶干涉濾光片。這種濾光片的透過率對薄膜的損耗非常敏感,所以制備透過率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。多腔濾光片又叫矩形濾光片,它可以做窄帶帶通濾光片,又可以做寬帶帶通濾光片,制備波區(qū)較寬,透過率高,波紋小的多腔濾光片同樣是困難的。
誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當?shù)碾娊橘|(zhì)膜系,以增加勢透過率,減少反射,使通帶透過率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法-珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應用價值。特別在紫外區(qū),一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。
真空鍍膜技術優(yōu)點
清洗過程簡化:現(xiàn)有真空鍍膜機PVD涂層鍍膜工藝,多數(shù)均要求事先對工件進行嚴格清洗,既復雜又費事。然而,離子鍍工藝自身就有一種離子轟擊清洗作用,并且這一作用還一直延續(xù)于整個鍍膜過程。清洗效果良好,能使鍍層直接貼近基體,有效地增強了附著力,簡化了大量的鍍前清洗工作。
可鍍材料廣泛:離子鍍由于是利用高能離子轟擊工件表面,使大量的電能在工件表面轉(zhuǎn)換成熱能,從而促進了表層組織的擴散作用和化學反應。然而,整個工件,特別是工件心部并未受到高溫的影響。因此這種鍍膜工藝的應用范圍較廣,受到的局限性則較小。通常,各種金屬、合金以及某些合成材料、絕緣材料、熱敏材料和高熔點材料等均可鍍復。即可在金屬工件上鍍非金屬或金屬,也可在非金屬上鍍金屬或非金屬,甚至可鍍塑料、橡膠、石英、陶瓷等。
多功能鍍膜設備及鍍膜方法與流程
現(xiàn)在,真空鍍膜機是用于外表處理PVD膜層的專用設備,包含真空磁控濺射鍍膜機、真空蒸騰鍍膜機、真空多弧離子鍍膜機等,真空磁控濺射鍍膜機可在低溫狀態(tài)下進行非金屬資料進行鍍膜,真空蒸騰鍍膜機和真空多弧離子鍍膜機歸于高溫鍍膜,適用于金屬資料鍍膜。
每種鍍膜機都有各自特色和使用范圍約束,如需鍍制多種不同膜層以及進行金屬和非金屬資料的鍍膜,需求置辦上述多種真空鍍膜機,存在設備出資大的缺陷。
為了處理上述問題,供給一種多功能鍍膜設備及鍍膜辦法。手套箱蒸鍍一體機,本體系由真空鍍膜體系和手套箱體系集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體空氣下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。首要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等試驗研討與使用。
蒸騰鍍膜與手套箱組合,完成蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜成長和器材制備進程高度集成在一個完好的可控環(huán)境空氣的體系中,消除有機大面積電路制備進程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定要素影響,保證了、大面積有機光電器材和電路的制備。
全自動真空鍍膜機
適應于玻璃、塑膠等基片上鍍制各類光學薄膜和其它機能性裝飾薄膜的批量化生產(chǎn)
采用先進的電氣控制系統(tǒng),良好的用戶操作界面,大大減輕作業(yè)人員的負擔
RCS自動鍍膜控制系統(tǒng)保證整個鍍膜過程自動完成
基片架轉(zhuǎn)動采用磁流體密封技術保證真空密封,中心驅(qū)動方式保證薄膜產(chǎn)品的均勻性及重復性
優(yōu)化的配置、嚴格的品質(zhì)控制保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和重復性
排氣速率.鍍膜效率的提高,大大縮短了產(chǎn)品生產(chǎn)周期