凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造.每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的級別。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于標(biāo)級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

靜電式凈化方式

　　工作原理：采用高壓靜電吸附除塵工作原理。靜電式是采用高壓靜電吸附除塵的工作原理。靜電場中的陰極線在高壓靜電的作用下，產(chǎn)生電暈放電，電暈層中產(chǎn)生大量的負(fù)離子，負(fù)離子在靜電場的作用下，不斷地向陽極運(yùn)動。當(dāng)空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負(fù)離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極（集塵極）運(yùn)動，到達(dá)陽極后釋放電荷。 缺點(diǎn)：可去除飄塵（不能去除氣體），效能比機(jī)械式低、慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國市場評為差凈化器。

層過濾/紙袋（丟棄式）：4gall(15L)能有效的收集處理可目視粉塵。

第二層過濾/加大的布質(zhì)過濾器（可洗式）：可以保護(hù)并延長HEPA 過濾器的壽命。

第三層過濾/馬達(dá)保護(hù)套：深層過濾，可以保護(hù)馬達(dá)使用壽命。

第四層過濾/HEPA 或ULPA 過濾器：

HEPA 可有效過濾0.3um 微塵達(dá)99.99%，適合用在較細(xì)微的過濾。HEPA 全部經(jīng)過激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的檢測。ULPA 可以有效過濾99.999%的0.12um（相當(dāng)于人類頭發(fā)直徑的1/960）d大小的粉塵，適用于CLASS1-10級無塵凈化環(huán)境，國家航天局專用吸塵器。

相信懂得凈化車間吸塵器的應(yīng)該比較熟悉了吧，這樣的過濾系統(tǒng)用在百級和千級凈化車間車間里面是不成問題的。

等某一空間需要過濾器與照明時，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過濾器合并在一起，這種器具經(jīng)常使用在小型且已預(yù)制好的凈化車間內(nèi)，這種器具為嵌入式，有開放的頂部和一個替代燈罩的巧克力制百葉，同時用于作為照明照明燈具與空氣輸送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過濾器空間需求的沖突，同時作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已發(fā)展出模塊式的天花板系統(tǒng)，具有內(nèi)建在格架通道內(nèi)的整合照明，這些系統(tǒng)允許層流氣流不受到影響。污染控制是凈化車間設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的主要目標(biāo)，任何帶有進(jìn)入凈化車間的潛在污染源要嚴(yán)格清除使其控制在一定范圍內(nèi)，照明燈具要進(jìn)行污染評估檢測。