氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展

經(jīng)過近半個(gè)世紀(jì)的努力，今天的氦質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：

（1）便攜式：近各國(guó)推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來達(dá)到此目的，且提高檢漏靈敏度。

另外，逆擴(kuò)散檢漏方式，實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng)

檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度，正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3s。筆者實(shí)測(cè)時(shí)，在漏點(diǎn)處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應(yīng)，對(duì)于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。

檢漏時(shí)噴槍在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。筆者根據(jù)實(shí)測(cè)經(jīng)驗(yàn)，兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。

清除時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同，但由于儀器零件對(duì)氦的吸附和脫附作用的影響,清除時(shí)間一般要更長(zhǎng)些。筆者測(cè)算，在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-9P a ?m3/s的微漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間約須1分鐘；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-8P a ? m3/s的中漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間約須2分鐘；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-7Pa?m3/s的大漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間在3分鐘左右。其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會(huì)流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會(huì)采用氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)熱管進(jìn)行檢漏。

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氦氣檢漏的主要技術(shù)性能

1.真空箱尺寸根據(jù)電芯尺寸確定;

2.一般為三箱聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)，生產(chǎn)節(jié)拍可滿足單臺(tái)6PPM—12PPM；

3.開門方式，可根據(jù)用戶生產(chǎn)工藝要求來設(shè)計(jì)，一般為平開門式、滑臺(tái)合箱式；

4.上下料采用機(jī)械手或機(jī)器人，正常生產(chǎn)時(shí)設(shè)備無需人工操作；

5.系統(tǒng)配置二維碼掃描裝置，可將每個(gè)電芯的檢測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)存儲(chǔ)；

6.具有清氦功能

7.具有氦氣回收功能（此功能可選）

8.自動(dòng)判斷，并對(duì)應(yīng)放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）

9.可通過觸摸屏設(shè)置不同等級(jí)密碼，更改設(shè)備參數(shù)；

10.人機(jī)交互界面，觸摸屏實(shí)時(shí)反映運(yùn)行狀態(tài)和測(cè)試數(shù)據(jù)；

11.故障統(tǒng)計(jì)功能

12.系統(tǒng)采用配置和標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制作，確保運(yùn)行穩(wěn)定，性能可靠。

今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo)，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢！