隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，在20世紀(jì)60年代中期開(kāi)始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計(jì)。由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱(chēng)為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化石英加速度計(jì)分為振梁式和擺式（即撓性），目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的都是石英撓性加速度計(jì)。系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，捷聯(lián)導(dǎo)航系統(tǒng)和飛行平臺(tái)等運(yùn)動(dòng)物體的控制系統(tǒng)中，也可用于戰(zhàn)斗車(chē)輛的火控系統(tǒng)及艦船的姿態(tài)控制系統(tǒng)中，已涵蓋海、陸、空慣性導(dǎo)航領(lǐng)域；民用系列開(kāi)環(huán)石英撓性加速度計(jì)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油油井隨鉆測(cè)斜和連續(xù)測(cè)斜，高層建筑測(cè)斜，大壩測(cè)斜等，還可用于懸浮物體的姿態(tài)控制。

石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計(jì)的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時(shí)，相對(duì)位置發(fā)生輕微偏移，引起差動(dòng)電容極板距離的變化導(dǎo)致差動(dòng)電,開(kāi)環(huán)石英撓性加速度計(jì)是一種檢測(cè)差動(dòng)電容的用伺服電路，同石英電容傳感器配接在一起，構(gòu)成一個(gè)完整石英撓性加速度計(jì)。 加速度計(jì)廣泛用于慣導(dǎo)系統(tǒng)中，測(cè)量運(yùn)動(dòng)載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成，主要特點(diǎn)是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無(wú)外接元件。

由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱(chēng)為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化。石英撓性加速度計(jì)是一種檢測(cè)加速度的精密慣性傳感器，通過(guò)計(jì)算可以準(zhǔn)確獲得系統(tǒng)的速度和位置，為各類(lèi)系統(tǒng)的導(dǎo)航、制導(dǎo)、控制、調(diào)平等提供準(zhǔn)確的加速度測(cè)量信號(hào)，石英撓性加速度計(jì)標(biāo)定工作原理 主要由上下力矩器、擺組件以及伺服回路組成。開(kāi)環(huán)石英撓性加速度計(jì)適用于量程較大，加速度較大的測(cè)試系統(tǒng)。開(kāi)環(huán)石英撓性加速度計(jì)屬力反饋式加速度計(jì)，是一種敏感加速度的傳感器，是慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的重要器件之一。由于具有精度高，體積小、重量輕，可靠性高等特點(diǎn)，