氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,

氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。

氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時會自動上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對檢漏儀的位置），這是因為在下方時有可能被上方漏孔吸入；對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門、波紋管和密封焊接件等；

氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。