光波超精密——超精密氣浮導(dǎo)軌廠家

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節(jié)流孔的作用是在間隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力，因此導(dǎo)軌有剛度。空氣浮筒導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——超精密氣浮導(dǎo)軌廠家

開式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉(zhuǎn)折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；

(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低

總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場(chǎng)合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。

光波超精密技術(shù)研究院——超精密氣浮導(dǎo)軌廠家

氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個(gè)承導(dǎo)面至少有兩個(gè)氣浮塊，氣浮塊與承導(dǎo)面間隙中氣體壓力 p的分布狀態(tài)能左右氣浮塊的性能。通過這個(gè)實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到：供氣量一定時(shí)，氣浮塊所受負(fù)荷增大，氣浮厚度減?。划?dāng)負(fù)荷減少時(shí)，氣浮厚度增大。

高精度工作臺(tái)常用導(dǎo)軌有滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓力導(dǎo)軌等，滾動(dòng)導(dǎo)軌的使用已有多年歷史，滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)微米級(jí)，摩擦系數(shù)可降至0.002~0.003。滾動(dòng)式導(dǎo)軌具有滾動(dòng)摩擦阻力小，不存在爬行漂浮現(xiàn)象，但其摩擦系數(shù)大，抗沖擊性能差，運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)，使用壽命低等優(yōu)點(diǎn)，在實(shí)際應(yīng)用中還存在不足。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——超精密氣浮導(dǎo)軌廠家

機(jī)導(dǎo)是傳動(dòng)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的基礎(chǔ)，也是傳動(dòng)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件之一.由于空氣粘性低，不易爬行、振動(dòng)小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)，因此本試驗(yàn)裝置采用空氣靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì).空氣靜壓導(dǎo)軌是將具有一定壓力的空氣通過節(jié)流器送入導(dǎo)軌間隙，通過靜壓使導(dǎo)軌懸浮起來，在導(dǎo)軌面之間形成一層極薄的氣膜，氣膜厚度基本保持恒定。

用大理石氣浮導(dǎo)軌的要求，當(dāng)運(yùn)動(dòng)件沿承導(dǎo)件作直線運(yùn)動(dòng)時(shí)，承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支撐和引導(dǎo)作用.為保證花崗石氣浮導(dǎo)軌作用的實(shí)現(xiàn)，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)滿足以下要求：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度.設(shè)計(jì)時(shí)，導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中需磨損，操作時(shí)應(yīng)輕便、省力.低速時(shí)不需爬行.2.運(yùn)動(dòng)件所受的外力作用.6.結(jié)構(gòu)工藝性好.有花崗石氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn).因此，花崗石氣浮導(dǎo)軌必須具備良好的性能，才能滿足花崗石氣浮導(dǎo)軌的要求。

彈珠氣浮導(dǎo)軌的材質(zhì)要求

彈珠式氣浮導(dǎo)軌是采用氣體靜壓 zhou軸承技術(shù)制造的，因此它具有軸徑向跳動(dòng)小，重復(fù)定位精度高，加載驅(qū)動(dòng)力小，能夠在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)地工作等特點(diǎn).為保證氣浮導(dǎo)軌具有這些性能.要求它在選擇制造材料時(shí)，必須具備下列特點(diǎn)：

導(dǎo)熱性良好，隨時(shí)間和空間變化，隨著溫度的變化，進(jìn)而引起部件內(nèi)部的溫度梯度，從而引起機(jī)械結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲；2熱膨脹系數(shù)小，在溫度變化時(shí)，避免造成過大的伸長(zhǎng)縮短；