光波超精密——花崗巖靜壓氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式

平面封閉型導(dǎo)軌：這種形式的導(dǎo)軌，由于工作臺(tái)導(dǎo)軌面變形較小，可以達(dá)到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機(jī)床和測量儀器等設(shè)備的長導(dǎo)軌。

重量平衡式導(dǎo)軌：此結(jié)構(gòu)導(dǎo)軌的圓度、圓筒度和導(dǎo)孔間距等精度完全由機(jī)械加工確定，全部載荷由導(dǎo)柱承擔(dān)，易發(fā)生變形，故除垂直導(dǎo)軌外，多用于輕載荷、短導(dǎo)軌。

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負(fù)荷變化小的場合。

光波超精密——花崗巖靜壓氣浮導(dǎo)軌

真空負(fù)壓平衡式導(dǎo)軌：該導(dǎo)軌與重量平衡式導(dǎo)軌是同一種類型，適用于工作臺(tái)重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負(fù)壓和靜壓的同時(shí)，由固定的導(dǎo)軌間隙維持。

線性導(dǎo)軌主要有以下幾種類型

一、滑動(dòng)(動(dòng)壓力)導(dǎo)向器。

二是靜壓導(dǎo)軌，根據(jù)流體的不同，可分為：空氣靜壓導(dǎo)軌(氣浮導(dǎo)軌)和液體靜壓導(dǎo)軌。

三、滾動(dòng)導(dǎo)軌，因滾動(dòng)體不同而分為滾珠導(dǎo)軌和滾柱導(dǎo)軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導(dǎo)向精度是直線導(dǎo)軌各項(xiàng)精度指標(biāo)中比較重要的兩項(xiàng)。

先了解導(dǎo)軌的作用，導(dǎo)軌的主要作用是支撐并引導(dǎo)運(yùn)動(dòng)部件沿著某種軌道移動(dòng)，就像我們的火車或電車軌道一樣。軌道起支撐和引導(dǎo)作用。

常規(guī)機(jī)械導(dǎo)軌由鋼軌和滑板兩部分組成，中間是滾珠，通過一定的技術(shù)手段，可使其工作的直線度、摩擦、剛度達(dá)到一定的性能指標(biāo)，在自動(dòng)化行業(yè)、機(jī)床行業(yè)和精密設(shè)備制造業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

直線導(dǎo)軌的技術(shù)指標(biāo)，我們?cè)谶x擇時(shí)，比較要注意幾點(diǎn)，負(fù)載能力和剛度，精度等級(jí)等等。

氣浮導(dǎo)軌，簡而言之，就是利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對(duì)懸浮，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)，并達(dá)到高精度導(dǎo)軌。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——花崗巖靜壓氣浮導(dǎo)軌

對(duì)于滾動(dòng)導(dǎo)軌，氣浮導(dǎo)軌的相位優(yōu)點(diǎn)是：

不磨擦、不磨損、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

氣浮導(dǎo)軌是根據(jù)空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。其特點(diǎn)是運(yùn)動(dòng)精i確，清潔無污染。由于誤差均化的作用，所以可以用較低的加工精度獲得較高的導(dǎo)引精度。氣浮導(dǎo)板被廣泛應(yīng)用于測量儀器和精密機(jī)械中。

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節(jié)流孔的作用是在間隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力，因此導(dǎo)軌有剛度?？諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——花崗巖靜壓氣浮導(dǎo)軌

開式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉(zhuǎn)折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；

(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時(shí)，氣膜剛度較低

總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)部件，除了在其運(yùn)動(dòng)方向上有一個(gè)自由度外，其它運(yùn)動(dòng)自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。