光波超精密——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動壓力型如左下圖所示，兩面相對運動，間隙呈楔形，沿運動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對運動，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時，調(diào)節(jié)氣隙中的壓力，使導(dǎo)軌具有剛度?？諝飧⊥矊?dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢，隨著移動速度的增加先下降到一個zui低值，然后逐漸上升到一個平衡值，但不隨移動速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因為測量機(jī)移動時的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會隨著測量機(jī)測量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標(biāo)測量機(jī)的zui優(yōu)測量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗結(jié)果證實了這一點。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測量機(jī)實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運行平穩(wěn)，運動精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。