相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械耐獗矶己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無(wú)塵車(chē)間對(duì)潔凈室的需要以及對(duì)無(wú)塵車(chē)間潔凈度的要求，取決于潔凈室內(nèi)工藝的性質(zhì)。在這方面，將產(chǎn)品、工藝及人員所需要的保護(hù)水平，連同其它所有組成部分對(duì)潔凈度的整個(gè)要求一并考慮，是非常關(guān)鍵的。以現(xiàn)實(shí)的觀點(diǎn)看，保證對(duì)一個(gè)特定環(huán)境有充分的污染控制，就必須控制室內(nèi)換氣次數(shù)，控制室內(nèi)溫、濕度，控制與相鄰房間的壓差，控制室內(nèi)粒子濃度，控制房間使用的建筑材料與設(shè)備，控制微生物的數(shù)量，控制所用服裝的污染水平及通風(fēng)過(guò)濾器的數(shù)量。需要通盤(pán)考慮的其他因素有：人員的衛(wèi)生、設(shè)備選項(xiàng)、ren流及物流的通道。

所謂的凈化就是將一定空間范圍內(nèi)空氣中的細(xì)菌、有害氣體、微粒子等污染物清除，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在一個(gè)范圍內(nèi)，但是凈化車(chē)間是一個(gè)復(fù)雜的工程，需要很多技術(shù)知識(shí)，在設(shè)計(jì)和施工中要注意很多細(xì)節(jié)，凈化車(chē)間是一個(gè)復(fù)雜的工程，從車(chē)間的選址、車(chē)間的布局以及設(shè)備的選擇都是大問(wèn)題，一切都需要根據(jù)生產(chǎn)工藝考慮，達(dá)到符合生產(chǎn)的環(huán)境。根據(jù)生產(chǎn)工藝合理的對(duì)車(chē)間進(jìn)行設(shè)計(jì)，對(duì)車(chē)間進(jìn)行布局，根據(jù)生產(chǎn)工藝布置設(shè)備，避免工作人員和物料來(lái)回往返，防止出現(xiàn)交叉污染的情況。所以?xún)艋?chē)間從設(shè)計(jì)到施工，都要注意細(xì)節(jié)問(wèn)題。

設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室時(shí)應(yīng)該注意哪些事項(xiàng)：1、實(shí)驗(yàn)室配有空調(diào)系統(tǒng)，其風(fēng)口應(yīng)采用噴塑或其他處理過(guò)的金屬材料制成，化學(xué)實(shí)驗(yàn)室一般不設(shè)回風(fēng)口。2、實(shí)驗(yàn)室的照明燈具不宜用金屬制品，若選用金屬燈具需經(jīng)表面處理，以防止腐蝕。3、各種管線(xiàn)應(yīng)盡量避免外露，實(shí)驗(yàn)室應(yīng)簡(jiǎn)潔。有條件應(yīng)設(shè)置火災(zāi)煙霧報(bào)警器等。4、安全設(shè)施包括消防滅火系統(tǒng)，惰性氣體滅火系統(tǒng)，安全柜，緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設(shè)施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統(tǒng)等。