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無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng):
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應(yīng)配備過(guò)濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí),事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu),規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備,應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū),并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí),其構(gòu)造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃,以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制,避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行,并加隔離柵隔離。
j.對(duì)于施工或維修之廠商,應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項(xiàng)規(guī)定,且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無(wú)塵室專用工具組,但不得帶出無(wú)塵室外使用。
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室,將是一理想之規(guī)劃。
實(shí)力公司用案例說(shuō)話,全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車間、廠房工程眾多,免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì),可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察
無(wú)塵車間的節(jié)能原則
無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高的效率的設(shè)計(jì)和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。其中應(yīng)急型在正常情況下也可以當(dāng)普通型使用,在廠房突然斷電的情況下,其可保持繼續(xù)照明,并且不需要單獨(dú)供電系統(tǒng)。 對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中 。
層流手術(shù)室空氣凈化系統(tǒng)要求
1、Ⅰ~Ⅲ級(jí)潔凈手術(shù)室和Ⅰ~Ⅱ級(jí)其他潔凈用房應(yīng)當(dāng)實(shí)行空氣潔凈系統(tǒng)送、回風(fēng)的動(dòng)態(tài)控制;
2、Ⅳ級(jí)潔凈手術(shù)室和Ⅲ、Ⅳ級(jí)其他潔凈用房可以通過(guò)末端為亞過(guò)濾器的局部空氣凈化設(shè)備實(shí)行動(dòng)態(tài)控制,并設(shè)置工程專職人員負(fù)責(zé)手術(shù)進(jìn)行中的計(jì)算機(jī)動(dòng)態(tài)監(jiān)控;
3、非潔凈區(qū)可以利用局部?jī)艋O(shè)備進(jìn)行自凈(空氣凈化機(jī));
4、嚴(yán)禁使用有化學(xué)刺激、致ai因素的局部空氣凈化設(shè)備;
5、空氣凈化系統(tǒng)的送風(fēng)末端裝置應(yīng)當(dāng)保證密閉,不泄露;
6、負(fù)壓手術(shù)室和產(chǎn)生致病性氣溶膠的房間應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的空氣凈化系統(tǒng),并且排風(fēng)口安裝過(guò)濾器;
7、排放有致病氣溶膠的風(fēng)口應(yīng)采用密閉裝置。