氣體管路控制系統(tǒng)作用

主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點、監(jiān)控及報警系統(tǒng)組成。對于一些易1燃易1爆氣體，如氫氣等，可能在設計和施工過程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

閥門是在流體系統(tǒng)中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設備內(nèi)的介質(液體、氣體、粉末)流動或停止并能控制其流量的裝置。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，用來改變通路斷面和介質流動

方向，具有導流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。

氣體管路控制系統(tǒng)可以用于管理控制氣體供應，包括流量，壓力，開關等，同時帶有泄漏報警1燈功能，能夠有效保護用氣安全。

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特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應采用焊接系統(tǒng),機械接頭均應置于抽風罩內(nèi)。排放氣體應進行安全處理。3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規(guī)程。

其次,采用監(jiān)測手段,預防事故發(fā)生。設置氣體泄漏偵測器,監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統(tǒng)氣柜應進行負壓監(jiān)測,防止抽風系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應與報警和緊急切斷連鎖。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運送氣體至使用點。系統(tǒng)還應進行遠程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應設置不間斷電源。

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小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。按照國標要求，將所用全部氣體存放于儲氣間，并實現(xiàn)集中輸送，組成中央供氣系統(tǒng)。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

高純氣體的輸送管路系統(tǒng)

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統(tǒng)提出了非常高的要求 。此種供應方式最終會減少運輸費用，減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量，以及良好的氣瓶管理。