曝光及顯影設(shè)備還包括主體曝光機(jī)10、基板輸送機(jī)構(gòu)50及傳送裝置40。主體曝光機(jī)10用于先對(duì)基板S的主體進(jìn)行曝光。傳送裝置40用于將來(lái)自該主體曝光機(jī)10的基板S傳送至基板輸送機(jī)構(gòu)50,傳送裝置40例如為機(jī)械手臂。基板輸送機(jī)構(gòu)50用于將基板S輸送至顯影裝置30，基板輸送機(jī)構(gòu)50例如為輸送輥。由于該基板的長(zhǎng)邊邊緣容易存在殘留光阻，因此，本公開(kāi)通過(guò)設(shè)置對(duì)應(yīng)于基板的長(zhǎng)邊邊緣的邊緣曝光裝置20，即可去除絕大部分的殘留光阻。

金屬小孔加工，現(xiàn)已廣泛的配套和應(yīng)用在各種各樣的行業(yè)當(dāng)中了，金屬小孔加工方法有很多種，但是今天小編要給大家分享的是一種常見(jiàn)的方法，那就是金屬蝕刻，這時(shí)候就有朋友想問(wèn)為什么金屬蝕刻還能加工小孔，下面小編就告訴大家金屬蝕刻怎么加工小孔。

金屬蝕刻工藝是一種新型的金屬加工方式，金屬蝕刻可以加工世界上絕大部分金屬材料，幾乎所有的金屬材料都可以用金屬蝕刻的工藝來(lái)加工，無(wú)非就是的成分和配比的調(diào)整問(wèn)題了。

除油不凈的原因有：溶液事先清洗不干凈——除油溶液溫度低，時(shí)間短——除油溶液濃度低，根據(jù)問(wèn)題出現(xiàn)的原因，對(duì)應(yīng)加強(qiáng)溶劑的清洗工作，提升除油溶液溫度到規(guī)范區(qū)間，加強(qiáng)除油時(shí)間以及提高除油溶液濃度到工藝范圍就可以解決了，關(guān)鍵是在操作前，作業(yè)師傅或者技術(shù)員對(duì)相關(guān)濃度與溫度以及時(shí)間要有準(zhǔn)確的判斷，設(shè)定合適的蝕刻工藝。