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發(fā)布時間:2021-06-20 08:40  






廣州勱博儀器有限公司——氫氣發(fā)生器-賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

 氫氣也可以應用在化學氣相沉積薄膜生長?;瘜W氣相沉積是一種利用固態(tài)-氣態(tài)反應、氣態(tài)-氣態(tài)反應生成薄膜的設備,如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時氫氣也可以在原子層沉積中使用。 賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

 而氫氣作為半導體制造中的氣源,在半導體材料及器件制備中起到至關重要的作用。可在光電器件、傳感器、IC制造中應用。

  目前半導體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

  退火是通過高溫加熱釋放材料內部應力從而改善材料質量的一種材料處理辦法,氫氣作為保護氣可以起到防止氧化等作用,多用于薄膜生長后釋放應力。

   氫氣在等離子體刻蝕(RIE/ICP)中作為反應氣體出現,等離子體刻蝕原理是利用反應氣體離化后與材料發(fā)生反應生成揮發(fā)性物質,從而實現材料圖形化,是半導體器件制備的必備工藝。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售


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氮氣發(fā)生器:從字面意思理解氫氣發(fā)生器的作用就是產生高純度的氮氣,氮氣分析儀器是變壓吸附空分制氮(簡稱P.S.A制氮) 是一種先進的氣體分離技術,以進口碳分子篩(CMS)為吸附劑,采用常溫下變壓吸附原理(PSA)分離空氣制取高純度的氮氣。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

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 空氣發(fā)生器:空氣發(fā)生器通過壓縮機對空氣(或其他氣體)進行壓縮,儲存在儲氣罐中,以便使用。主要有壓縮機、儲氣罐、過濾器、干燥室等主要部分組成。

純水氫氣發(fā)生器是由電解槽、純水罐、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、調壓閥、開關電源等組成。只有用純水電解才能產生氫氣。通電后,電解槽的陰極產生氫氣,陽極產生氧氣,氫氣進入氫氣/水分離器。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售


 純水氫氣發(fā)生器的安裝及使用細節(jié)注意:

  1、將儀器從包裝箱中取出,檢查是否因運輸不當而損壞,檢查備件、合格證、保修卡是否齊全。

  2、連接儀器氣路管,保證接頭不漏氣。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

  3、打開純水制氫機水桶蓋,加入純水和去離子水,不要超過觀察水位線,也不要低于下水位線,擰緊上蓋。

  4、打開電源,打開電源開關,電源開關紅燈亮,產氣燈亮。輸出流量LCD顯示顯示顯示數為400,壓力表指針由0mpa升至0.4MPa,儀表正常使用。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

  5、儀器有一套干燥管。使用時注意觀察干燥管內硅膠是否變色。如果變色部分超過整個部分的一半,應及時更換硅膠。更換時,應無壓進行,打開干燥管上蓋;取出內管,將變色部分倒入新的變色硅膠或回收硅膠中,然后將內管放入干燥管內,確保放置到位,擰緊上蓋,確保不漏氣。

  6、純水氫氣發(fā)生器使用一段時間后,桶內純水減少,應及時補充或更換純水,以改變濁度。建議:3-6個月水桶內的水全部排干,清洗水桶后再加新水。儀器運輸時,應將水桶內的水排干。排水方法:將儀器后面的硅膠管拔出,取下尼龍塞。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售


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