磁控濺射鍍膜機(jī)

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目前國(guó)內(nèi)窗膜行業(yè)的批發(fā)商及終端店很多人都吃過(guò)磁控鍍銀膜氧化的虧，產(chǎn)品賣出后幾個(gè)月，開(kāi)始大面積氧化，需要賠償，甚至還失去了客戶。特別是NSN系列在13、14年出的問(wèn)題特別多，搞得很多人談磁控膜色變的地步。而在15、16年后，問(wèn)題得到解決。慢慢地就沒(méi)多少氧化問(wèn)題出現(xiàn)了。這也讓很多剛接觸磁控膜的人以為磁控膜都是鍍銀的膜，一說(shuō)磁控膜就問(wèn)會(huì)不會(huì)氧化。其實(shí)大可不必?fù)?dān)心，大部分的側(cè)檔都不是銀的，請(qǐng)放心使用。且這兩年的技術(shù)進(jìn)步，國(guó)內(nèi)各磁控工廠也找到了解決氧化的方法。實(shí)際上，每個(gè)設(shè)備都有使用壽命，例如，擴(kuò)散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費(fèi)嗎。其實(shí)在玻璃鍍膜行業(yè)，早就解決了氧化問(wèn)題，我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時(shí)內(nèi)合成中空，不然就會(huì)氧化。當(dāng)時(shí)low-e與中空都是鍍膜廠做的，下邊玻璃加工廠根本無(wú)法介入，而現(xiàn)在鍍膜廠只需生產(chǎn)玻璃鍍膜原片。且玻璃原片爆露在空氣中可達(dá)6個(gè)月以上，都不會(huì)氧化。這樣中空玻璃，一些門窗廠，幕墻公司、小規(guī)模的玻璃深加工工廠，都可以生產(chǎn)low-e中空玻璃了，加上政府政策的支持與引導(dǎo)，大大的加快了low-e玻璃的發(fā)展與普及。做窗膜磁控濺射鍍膜的應(yīng)多去看看玻璃行業(yè)的low-e鍍膜，多些交流。畢竟生產(chǎn)原理是一樣的東西，技術(shù)是相通的。很多東西是可以套用的，low-e鍍膜得到了規(guī)?；陌l(fā)展，技術(shù)工藝已非常成熟了。窗膜磁控濺射鍍膜終是要與玻璃配套的，如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展，才是正道。就目前來(lái)說(shuō)，僅從隔熱性能、保溫性能上與玻璃對(duì)抗，是不可能有成本上優(yōu)勢(shì)的。但都是鍍膜，如何做差異化，我目前也只是拋磚引玉，只有大家一起開(kāi)動(dòng)腦袋了。

磁控濺射中靶zhong毒是怎么回事,一般的影響因素是什么？

靶zhong毒的影響因素  

影響靶zhong毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例，反應(yīng)氣體過(guò)量就會(huì)導(dǎo)致靶zhong毒。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(zhǎng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過(guò)度，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全zhong毒。

濺射鍍膜

濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面，使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù)。這是因?yàn)榘校帢O），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。通常，利用低壓惰性氣體輝光放電來(lái)產(chǎn)生入射離子。陰極靶由鍍膜材料制成，基片作為陽(yáng)極，真空室中通入0.1-10Pa的ya氣或其它惰性氣體，在陰極（靶）1-3KV直流負(fù)高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產(chǎn)生輝光放電。電離出的ya離子轟擊靶表面，使得靶原子濺出并沉積在基片上，形成薄膜。濺射方法很多，主要有二級(jí)濺射、三級(jí)或四級(jí)濺射、磁控濺射、對(duì)靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對(duì)稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等。