磁控濺射種類

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源，回路中加入很強的電容。目前沒有見到對磁控濺射靶材利用率專門或系統(tǒng)研究的報道，而從理論上對磁控濺射靶材利用率近似計算的探討具有實際意義。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術(shù)很復雜，因而難大規(guī)模采用。為解決此問題，發(fā)明了磁控反應濺射。就是用金屬靶，加入Ar和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉(zhuǎn)化，與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應濺射絕緣體看似容易，而實際操作困難。主要問題是反應不光發(fā)生在零件表面，也發(fā)生在陽極，真空腔體表面，以及靶源表面。從而引起滅火，靶源和工件表面起弧等。其原理是一對靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是一切源（磁控，多弧，離子）所必需，因為能量很大一部分轉(zhuǎn)為熱量，若無冷卻或冷卻不足，這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。

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磁控濺射鍍膜儀設備在工業(yè)中有什么優(yōu)勢

磁控濺射鍍膜儀設備發(fā)展至今，在工業(yè)方面顯的極為重要，其作用范圍廣泛，徹底的改變了傳統(tǒng)的鍍膜行業(yè)。使得鍍膜作業(yè)在生產(chǎn)質(zhì)量方面以及效率方面都得到了較大的提升。那么磁控濺射鍍膜儀設備在工業(yè)中有什么優(yōu)勢呢？

磁控濺射鍍膜儀設備主要有一下優(yōu)勢：

1、沉積速度快、基材溫升低、對膜層的損傷??；

2、對于大部分材料，只要能制成耙材，就可以實現(xiàn)濺射；

3、濺射所獲得的薄膜與基片結(jié)合較好；

4、濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；

5、濺射工藝可重復性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜；

6、能夠準確控制鍍層的厚度，同時可通過改變參數(shù)條件控制組成薄膜的顆粒大??；

7、不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；

8、易于實現(xiàn)工業(yè)化。

隨著科技的發(fā)展，磁控濺射鍍膜儀設備在日常中個方面都有著極大的貢獻，不僅在節(jié)能環(huán)保方面有著重大的提升，更為重要的是其解放了勞動人民的雙手，讓勞動者徹底的從傳統(tǒng)鍍膜行業(yè)中解放。

我國真空鍍膜機行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和前景分析

當前我國真空鍍膜設備行業(yè)等傳統(tǒng)制造業(yè)產(chǎn)能過剩已經(jīng)顯現(xiàn)，倒逼效應顯著，國家大力發(fā)展環(huán)保產(chǎn)業(yè)，對傳統(tǒng)電鍍行業(yè)予以取締或轉(zhuǎn)型或限產(chǎn)，這正是離子鍍膜行業(yè)發(fā)展的大好時機。實際上，每個設備都有使用壽命，例如，擴散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費嗎。真空鍍膜的高性價比以及傳統(tǒng)電鍍對環(huán)境的污染迫使真空鍍膜成為了主流，各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設備不斷增加。

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