磁控濺射鍍膜機

銦錫氧化物( Indium Tin Oxide ,簡稱ITO) 薄膜是一種用途廣泛的透明導電材料,已成熟的應用于電機車擋風玻璃、液晶顯示器件、太陽能電池、全息照相和液晶彩色電視等,蓄勢待發(fā)的應用領域為有機發(fā)光二極管顯示器(Organic Light-Emitting Diode ,簡稱OLED) 。由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學反應生成化合物原子，通常是放熱反應，反應生成熱必須有傳導出去的途徑，否則，該化學反應無法繼續(xù)進行。從應用角度出發(fā),通常要求ITO 薄膜的成份是In2O3 和SnO2 ,薄膜中銦錫低價化合物愈少愈好。ITO 薄膜的制備方法很多,如噴涂、蒸發(fā)、射頻濺射和磁控濺射等。隨著液晶顯示器技術向高精細化和大型化發(fā)展,磁控濺射法備受歡迎。

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磁控濺射鍍膜技術

磁控濺射鍍膜技術由于其顯著的優(yōu)點已經(jīng)成為制備薄膜的主要技術之一。為便于控制氧含量,我們采用混合比為85∶15的氧混合氣代替純氧,氣體噴孔的設計保證了基底各處氧分子流場的均勻性。非平衡磁控濺射改善了等離子體區(qū)域的分布，顯著提高了薄膜的質量。中頻濺射鍍膜技術的發(fā)展有效克服了反應濺射過程中出現(xiàn)的打弧現(xiàn)象，減少了薄膜的結構缺陷，明顯提高了薄膜的沉積速率。磁控濺射鍍膜儀廠家?guī)懔私飧啵?

磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工業(yè)中不可缺少的技術之一，磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用于透明導電膜、光學膜、超硬膜、抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜。

磁控濺射技術發(fā)展過程中各項技術的突破一般集中在等離子體的產(chǎn)生以及對等離子體進行的控制等方面。通過對電磁場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數(shù)的控制，使膜層質量和屬性滿足各行業(yè)的要求。

對于濺射鍍膜來說，可以從真空系統(tǒng)，電磁場，氣體分布，熱系統(tǒng)等幾個方面進行沒計，機械制造和控制貫穿整個工程設計過程。

濺射碰撞一般是研究帶電荷能離子與靶材表層粒子相互作用，并伴隨靶材原子及原子團簇的產(chǎn)生的過程。

薄膜的屬性和基片的溫度、晶格常數(shù)、表面狀態(tài)和電磁場等有著密切關系。

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磁控濺射鍍膜的優(yōu)點

磁控濺射鍍膜是現(xiàn)代工業(yè)中不可缺少的技術之一，磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用于透明導電膜、光學膜、超硬膜、抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜，在國1防和國民經(jīng)濟生產(chǎn)中的作用和地位日益強大。窗膜磁控濺射鍍膜最終是要與玻璃配套的，如何與玻璃上直接鍍膜做差異化發(fā)展，才是正道。鍍膜工藝中的薄膜厚度均勻性，沉積速率，靶材利用率等方面的問題是實際生產(chǎn)中十分關注的。磁控濺射鍍膜儀廠家?guī)懔私飧啵?

膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態(tài)息息相關，如靶的刻蝕狀態(tài)，靶的電磁場設汁等。

濺射鍍膜膜厚均勻性是間接衡量鍍膜工藝的標準之一，它涉及鍍膜過程的各個方面。因此，制備膜厚均勻性好的薄膜需要建立一個濺射鍍膜膜厚均勻性綜合設計系統(tǒng)，對濺射鍍膜的各個方面進行分類、歸納和總結，找出其內在聯(lián)系。

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點：利用磁場與電場交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運行，從而增大電子撞擊ya氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。