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真空鍍膜系統(tǒng)廠家服務(wù)至上「艾明坷」

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發(fā)布時(shí)間:2021-08-15 17:52  






CT系列鍍膜機(jī)

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機(jī)系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨(dú)設(shè)計(jì),滿足您的特殊需要。

特點(diǎn):1、按需開發(fā),量身定制。

2、整機(jī)采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統(tǒng)

5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用

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油擴(kuò)散泵在真空鍍膜機(jī)中的作用


油擴(kuò)散泵:機(jī)械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候,實(shí)際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴(kuò)散泵。

油擴(kuò)散泵的應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大等特點(diǎn)。3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選4、可集成手套箱系統(tǒng)5、可集成多種自動(dòng)化應(yīng)用想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級泵和多級泵。

擴(kuò)散泵底部內(nèi)儲(chǔ)存有擴(kuò)散泵油,上部為進(jìn)氣口,右側(cè)旁下部為出氣口,在工作時(shí)出氣口由機(jī)械泵提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。

當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。在刀具、模具等金屬切削加工工具方面在生活中,我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的。

由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量,向下飛去,由于射流具有高的流速(約200米/秒),高的蒸汽密度,且擴(kuò)散泵油具有高的分子量(300-500)故能有效的帶走氣體分子,因此在射流的界面內(nèi),氣體分子不可能長期滯留,且在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差,正是因?yàn)檫@個(gè)濃度差被抽氣體能不斷的越過界面,擴(kuò)散進(jìn)入射流中,被帶往出口處,在出口處再由機(jī)械泵抽走。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。

擴(kuò)散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素,因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油,其化學(xué)特性要好。

由于油擴(kuò)散泵是無法杜絕有返油的幾率,那么沒有辦法保證精密產(chǎn)品的100%純凈,特別是半導(dǎo)體行業(yè),所以就有“高真空冷凝泵+低真空機(jī)械泵”所組成的無油真空系統(tǒng),冷凝泵組成的排氣系統(tǒng)不僅排氣效率極高,而且有效保證真空腔的清潔,保證產(chǎn)品的質(zhì)量(避免產(chǎn)品被污染、增強(qiáng)膜層與基板之間的附著力),但是其維護(hù)成本非常的高,造價(jià)昂貴,所以普及率沒有油擴(kuò)散泵廣泛。真空鍍膜機(jī)原理真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵 機(jī)械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

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真空抽不上去的原因

1、漏率偏高就是我們通常所說的漏氣;.

2、真空機(jī)組的抽氣能力不夠了,油被污染或氧化了:

3、真空室內(nèi)太臟放氣;

4、真空室內(nèi)有漏水;

5、真空管道有漏氣;.

6、或者是以上幾種可能都有。

出現(xiàn)問題首先是要判斷,是不是拆卸過東西,是不是漏水?閥門打開了嗎?根據(jù)現(xiàn)象判斷原因,然后再去根據(jù)判斷找問題,可能會(huì)收到事半功倍的效果。

養(yǎng)成良好的衛(wèi)生習(xí)慣

相比以前我們廠的設(shè)備是灰塵滿面、油漬不堪。如需了解更多真空鍍膜的相關(guān)信息,歡迎關(guān)注艾明坷網(wǎng)站或撥打圖片上的電話詢。也許很多人都認(rèn)為,設(shè)備只要正常運(yùn)轉(zhuǎn)就可以了,搞得再干凈也是做表面工作。我可是這樣認(rèn)為的,一個(gè)人連表面工作都作不來,那真的還有內(nèi)在、實(shí)在的工作嗎?當(dāng)然設(shè)備和設(shè)備周圍的灰塵、油污對設(shè)備的本身的影響也是相當(dāng)之大的?;覊m能產(chǎn)生靜電,損壞電子元件;油污能使電線、水管硬化開裂,造成一些意想不到的問題出現(xiàn)。特別我們使

用的真空設(shè)備,還有它本身的特殊性。真空設(shè)備講究的是-一個(gè)真空清潔度,真空清潔度越差,放氣性就越大。這樣使設(shè)備抽到較高的真空度所需的時(shí)間就越長。

或者根本就無法抽到。這樣一來就減少我們的產(chǎn)量,二來影響到了我們的產(chǎn)品的質(zhì)量。

本信息由艾明坷為您提供,如果您想了解更多產(chǎn)品信息,您可撥打圖片上的電話咨詢,艾明坷竭誠為您服務(wù)!




真空鍍膜設(shè)備真空泵的選擇

正確地組合真空泵。在光學(xué)儀器中人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現(xiàn)了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,1好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。



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