無(wú)塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說(shuō)話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無(wú)塵室/無(wú)塵車間/凈化車間/潔凈室設(shè)計(jì)要點(diǎn)

    1、壓力和氣流

為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi)，要達(dá)到這個(gè)目的，房間里必須保持正壓，為了獲得所要求的房間壓力，必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。

    2、輔助設(shè)備

必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備：如新風(fēng)口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等，這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能。

    3、人和物的控制

人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進(jìn)入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過(guò)人凈系統(tǒng)，更換無(wú)塵衣，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。

    4、給排水和送風(fēng)裝置及電源

根據(jù)所要運(yùn)行的車間，提供必須的給排水裝置，送風(fēng)裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì)，同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)，

無(wú)塵車間---為避免失誤盡可能事先確認(rèn)下事項(xiàng)：

1、潔凈度等級(jí)，2、室內(nèi)平衡措施，3、溫濕度要求，4、機(jī)器設(shè)備之必要性，5、確定生產(chǎn)流程，6、局部排氣之必要性，7、日后擴(kuò)充彈性，8、足夠維護(hù)保養(yǎng)空間，9、空調(diào)送風(fēng)方式，10、員工休息區(qū)之安排，11、設(shè)施與動(dòng)力之配置，12、室內(nèi)凈高與樓板載重，13、設(shè)備空間與管道間，14、門窗宜少，氣密性要佳，15、靜電、振動(dòng)及噪音，16、生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交，17、公害、污染與防災(zāi)，18、安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量

潔凈室節(jié)能的幾個(gè)方法

10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)一：塵粒大的允許數(shù)大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)3500000個(gè)，大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)20000個(gè)。

塵粒無(wú)處不在，侵蝕風(fēng)化產(chǎn)生的，人體自然散發(fā)的，數(shù)不勝數(shù)，嚴(yán)重干擾電子光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)。此外，塵粒是病毒的良好的載體，也影響了食品的加工。凈化車間工程的首要任務(wù)便是“除塵”。

0.5微米是什么概念?一根頭發(fā)絲的直徑約為70～100微米，大小約為1微米～2微米，通過(guò)凈化空氣系統(tǒng)，使大于或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)20000個(gè)，潔凈度非常高。

10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)二：微生物大的允許數(shù)，浮游菌數(shù)不得超過(guò)500個(gè)每立方米;沉降菌數(shù)不得超過(guò)10個(gè)每培養(yǎng)皿。

微生物包括病毒、單細(xì)胞生物等，凈化車間工程著重考察浮游菌和沉降菌兩個(gè)指標(biāo)。在做沉降菌檢測(cè)時(shí)，須有特殊的培養(yǎng)皿，每個(gè)培養(yǎng)皿內(nèi)放置由特定的營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)，在車間放置一段時(shí)間，根據(jù)營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)中生長(zhǎng)的數(shù)量，便可測(cè)算出空氣中沉降菌的數(shù)量。