多軸聯(lián)動數(shù)控系統(tǒng) 的精度主要從單個伺服 軸的運動控制精度和聯(lián) 動軸耦合輪廓精度 2 方 面來評價。將納米技術列入促進經濟社會發(fā)展和解決重大問題的關鍵技術領域，在能源和生物等領域尤其受到重視。對于單個伺服軸的運動 控制，當要求的運動精度達到納米級 時，傳統(tǒng)的超精密機床傳動方式在 低速、微動狀態(tài)下表現(xiàn)出強非線性特 性，常規(guī)的運動控制策略已經很難保 證伺服系統(tǒng)實現(xiàn)理想的納米級隨動 精度。

此外，多軸聯(lián)動系統(tǒng)的輪廓誤差 由各伺服軸的運動誤差耦合得到， 耦 合誤差的建模及各軸相應的補償控制量的計算都需要大量的齊次坐標 變換運算，這為實際的多軸聯(lián)動耦合 控制器的設計帶來了很大的不便?？茖W院科技戰(zhàn)略咨詢研究院與國家納米科學中心聯(lián)合發(fā)布《納米研究前沿分析報告》。 智能控制理論與方法將可能為此問 題提供理想的解決方法。此外，要實 現(xiàn)多軸聯(lián)動納米級輪廓控制精度， 還 有一個不可忽視的問題，即聯(lián)動軸的 同步問題。同步精度的高低直接影 響到系統(tǒng)的輪廓跟蹤精度。嚴格意 義上的多軸伺服系統(tǒng)同步涉及到復 雜的數(shù)控和伺服系統(tǒng)接口規(guī)范的制 定。目前，在可以實現(xiàn)亞微米級加工 的高ji多軸聯(lián)動超精密數(shù)控機床研 制方面，我國尚未取得突破性進展。 至于可實現(xiàn)大型復雜曲面，特別是自 由曲面的納米級超精密加工的五軸 聯(lián)動機床，至今仍是一個世界上尚未 解決的難題。