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一六儀器 專業(yè)測厚儀 多道脈沖分析采集,先進EFP算法 X射線熒光鍍層測厚儀
應用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.EFP算法結(jié)合精準定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
能量色散X熒光光譜儀定義及原理
X射線熒光光譜儀是一種可以對多元素進行快速同時測定的儀器。試樣受X射線照射后,其中各元素原子的內(nèi)殼層(K,L或M層)電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷,并發(fā)射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征X射線。002um~100um左右,能測試5層以上膜厚,并且可以測量合金鍍層,也可分析鍍層元素和含量比。能散型X射線熒光光譜儀(EDXRF)利用熒光X射線具有不同能量的特點,由探測器本身的能量分辨本領(lǐng)來分辨探測到的X射線。
鍍層厚度分析儀的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。
X射線和β射線法是無接觸無損測量,測量范圍較小,X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆
層測厚時采用。
江蘇一六儀器 X射線熒光光譜儀XTU/X-RAY系列
技術(shù)參數(shù)
X射線裝置:W靶微聚焦加強型射線管
準直器φ 0.05 mm ;φ 0.1 mm;φ 0.2 mm;φ 0.5 mm; 準直器任意選擇或者任意切換
近測距光斑擴散度:9%
測量距離:具有距離補償功能,可改變測量距離,能測量凹凸異型樣品,變焦距離0-30mm(特殊要求可以升級到90mm)
樣品觀察:1/2.5彩色CCD,變焦功能對焦方式高敏感鏡頭,手動對焦
放大倍數(shù):光學38-46X,數(shù)字放大40-200倍
隨機標準片:十二元素片、Ni/Fe 5um、Au/Ni/Cu 0.1um/2um
其它附件:聯(lián)想電腦一套、噴墨打印機、附件箱