蝕刻機(jī)可以分為化學(xué)蝕刻機(jī)及電解蝕刻機(jī)兩類。在化學(xué)蝕刻中是使用化學(xué)溶液，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)以達(dá)到蝕刻的目的，化學(xué)蝕刻機(jī)是將材料用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。    

1、蝕刻機(jī)噴頭的介紹    蝕刻機(jī)噴頭是蝕刻機(jī)噴淋裝置中的一個(gè)部件，藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機(jī)噴頭的種類來決定的，不同的蝕刻機(jī)噴頭所起到的作用是不一樣的。蝕刻機(jī)噴頭的作用及維護(hù)    2、蝕刻機(jī)噴頭的作用    主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上，蝕刻機(jī)噴頭根據(jù)蝕刻機(jī)每道工序所對(duì)應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如：常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形，因?yàn)槲g刻段對(duì)壓力的要求比較高，而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會(huì)相對(duì)較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴，因?yàn)檫@兩處需要覆蓋面廣，而錐形噴嘴剛好就有這種特性。    3、蝕刻機(jī)噴頭的維護(hù)    蝕刻液是通過蝕刻機(jī)噴頭頂端的小孔把給噴淋出來，這個(gè)小孔的直徑是很小的，所以是很容易堵塞的，而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來的殘?jiān)际穷w粒狀的，使用的時(shí)間過長(zhǎng)了這些固體顆粒物的形成就會(huì)堵塞噴頭，所以我們需要定期的清理蝕刻機(jī)的噴頭才能達(dá)到良好的腐蝕效果。

離子植入：其是用來控制半導(dǎo)體中雜質(zhì)量的關(guān)鍵程序，對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜技術(shù)。優(yōu)點(diǎn)在于雜質(zhì)量的控制，雜質(zhì)分布的再重整，及低溫下操作。    離子植入機(jī)主要的供廠商為AMAT，中國(guó)部份只有中電科電子裝備公司能供應(yīng)。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國(guó)離子植入機(jī)需求可達(dá)5億美元與7億美元。    沉積：PVD沉積為一種物理制程，此技術(shù)一般使用等惰性氣體，藉由在高真空中將離子以加速撞擊濺鍍靶材后，將靶材原子一個(gè)個(gè)濺擊出來，使被濺擊出來的材質(zhì)沉積在晶圓表面。    薄膜沉積設(shè)備主要的供應(yīng)商包含應(yīng)用材料、Vaportech、LamResearch、ASM、Tokki等。而中國(guó)相關(guān)設(shè)備制造廠有北方華創(chuàng)、沈陽(yáng)拓荊等。北方華創(chuàng)是中國(guó)薄膜沉積設(shè)備龍頭，目前技術(shù)已達(dá)到14nm。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國(guó)薄膜沉積設(shè)備需求可達(dá)15億美元與20億美元。    測(cè)試：在晶圓完成制造之前，會(huì)有一道晶圓中測(cè)工序。在測(cè)試過程中，會(huì)檢測(cè)每一個(gè)芯片的電路功能。




在古時(shí)從事腐蝕加工的技師，不像我們今天這樣有很多的方法將圖文轉(zhuǎn)移到需要腐蝕的金屬表面。早的方法可能是采用一些石蠟、松香、瀝青等，也可能采用、桐油等天然有機(jī)材料。據(jù)記載到了16世紀(jì)時(shí)專門從事腐蝕加工的工匠們，要耐心地耗時(shí)數(shù)周甚至數(shù)月的時(shí)間，將這些材料按某種比例搗碎，再用液體瀝青或桐油調(diào)合，也可能是直接加溫熔化而制成保護(hù)涂料。然后用刷子仔細(xì)地把保護(hù)涂料涂抹在需要腐蝕的整個(gè)零件表面，經(jīng)午燥或冷卻硬化后;再用針或之類的硬物在保護(hù)層上把圖案制作出來，接下來就是用原始的方法進(jìn)行腐蝕加工。我們可以想象，他們是怎樣地在腐蝕部位周圍用石蠟等天然常溫固態(tài)樹脂筑起屏障，然后將酸液慢慢地加到需要腐蝕的部位上。我們可以估計(jì)到這些專門從事腐蝕的工匠們會(huì)遇到的各種困難，比如:防蝕層的粘著力不夠，在還沒有達(dá)到腐蝕深度要求時(shí)，防蝕層就可能全部或部分脫落，這時(shí)就需要用手工來拋光以去掉所有的腐蝕斑痕;用石蠟等天然樹脂所筑起的防蝕墻并不能很好地防止酸的外溢，使零件的外緣或其他部位遭到腐蝕，而這些零件在進(jìn)行腐蝕之前就已經(jīng)加工完成，同時(shí)已具有昂貴的價(jià)值，并由此而承擔(dān)極大的風(fēng)險(xiǎn)。隨著其他輔助技術(shù)和有機(jī)材料的發(fā)展，可以用非金屬材料制作成大的容器，同時(shí)也逐漸掌握了使用防蝕涂料對(duì)零件其他部位的保護(hù)，這時(shí)就可以直接將零件浸人一足可。

以不銹鋼US304的腐蝕加工為主

　　蝕刻機(jī)里添加化學(xué)蝕刻液為：三氯化鐵

　　化學(xué)式：FeCl3=FeCl3·6H2O

　　一.蝕刻液條件

　　波美度： 38°—42°

　　藥液溫度： 45°—50°

　　PH值測(cè)量區(qū)間： 1PH-3PH

　　氧化劑 FeCl3

　　二.新反應(yīng)過程

　　三氯化鐵蝕刻液對(duì)不銹鋼的蝕刻是一個(gè)“氧化---還原”過程：

　　1.氧化反應(yīng)：2FeCl3 Fe=3FeCl2

　　三氯化鐵 不銹鋼 水=氯化亞鐵 板材蝕刻成品 水 不銹鋼雜質(zhì)