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真空鍍膜之多弧離子鍍 :
多弧離子鍍又稱電弧離子鍍或陰極離子鍍是以鍍膜材料為陰極,陽極和真空室相連,陰極和陽極分別接到低壓大電流直流電源的負(fù)極和正極。蒸鍍時(shí)由于放電,在陰極表面上出現(xiàn)明亮的弧斑, 從而使陰極材料蒸發(fā)并電離, 形成金屬等離子體。引弧電極與陰極靶表面接觸和離開的瞬間,陰極和陽極之間形成穩(wěn)定的自持弧光放電。廣泛應(yīng)用于汽車燈具反射膜、反光杯、前車燈,后車燈,轉(zhuǎn)向燈、車牌照明燈等,前車燈包括:鹵鎢燈、氙氣燈、近光燈、遠(yuǎn)光燈、前轉(zhuǎn)向燈、前位燈(又叫示寬燈,表明車輛存在的位置燈),前霧燈;后車燈包括后位燈、倒車燈、制動燈、后霧燈、后轉(zhuǎn)向燈。
從鍍膜的原理及特點(diǎn)看,真空蒸鍍工件不帶電,真空條件下金屬加熱蒸發(fā)沉積到工件表面,沉積粒子的能量與蒸發(fā)時(shí)的溫度對應(yīng)。濺射的工件為陽極,靶為陰極,利用原子的濺射作用把靶材原子擊出而沉積在工件表面上,沉積原子的能量由被濺射原子的能量分布決定。離子鍍的工件為陰極,蒸發(fā)源為陽極,進(jìn)入輝光放電空間的金屬原子離子化后奔向工件,并在工件表面沉積成膜,沉積過程中離子對基片表面、膜層與基片的界面以及膜層本身都發(fā)生轟擊作用,粒子的能量決定于陰極上所加的電壓。
真空鍍膜基本方法 :
從被沉積物質(zhì)的氣化方式看,真空蒸鍍?yōu)殡娮杓訜?、電子束加熱、感?yīng)加熱、激光加熱等;濺射的鍍料原子不是靠加熱方式蒸發(fā),而是靠陰極濺射由靶材獲得沉積原子;離子鍍可以分為蒸發(fā)式或者濺射式,蒸發(fā)式為電阻加熱、電子束加熱、感應(yīng)加熱、激光加熱等,濺射式由進(jìn)入輝光放電空間的原子由氣體提供,反應(yīng)物沉積在基片上。
真空鍍膜是在高真空中加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)在鍍膜部件表面形成薄膜的一種方法。如真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
真空鍍膜是真空系統(tǒng)應(yīng)用發(fā)展領(lǐng)域的一個(gè)非常重要內(nèi)容方面,它是以真空處理技術(shù)為基礎(chǔ),利用物理或化學(xué)教學(xué)方法,并吸收電子束、分子束、離子束等一系列新技術(shù),為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。