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國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金剛線切割
在光伏領(lǐng)域,為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)效率的要求,金剛線技術(shù)的研究和產(chǎn)業(yè)化,將進(jìn)一步縮小硅片厚度并降低了切割過程中的材料損耗,從而減少了太陽能電力的硅材料消耗量。
(1) 采用金剛線切割,輔材單片成本可下降0.3-0.4元/片;
(2) 金剛線切割出片率較砂漿線切割出片率每公斤多出10片,硅料成本下降;
(3) 采用金剛線切割每刀用時3-3.5h,較砂漿線切割效率可提升至少一倍;能耗成本亦大幅縮減;
?電火花線切割
電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。將工件接入脈沖電源正極,采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲,將金屬絲接高頻脈沖電源負(fù)極作為工具電極,利用火花放電對加工零件進(jìn)行切割。不會出現(xiàn)劃痕,不受恒溫條件阻止,在常溫下也能保持其原有物理性能。脈沖電源提供加工能量,加工過程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑,切割過程中若工件材料過厚時,工作液較難進(jìn)入和充滿放電間隙,會對加工精度和表面粗糙度造成影響。
而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問題,其加工精度和粗糙度都大幅提升