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廢氣處理設(shè)備維護(hù)方式
定期維修
這是一種以設(shè)備運(yùn)行時(shí)間為基礎(chǔ)的預(yù)防維修方式,具有對(duì)設(shè)備進(jìn)行周期性維修的特點(diǎn)。根據(jù)設(shè)備的磨損規(guī)律,事先確定維修類(lèi)別、維修間隔期、維修內(nèi)容及技術(shù)要求。維修計(jì)劃按設(shè)備的計(jì)劃開(kāi)動(dòng)時(shí)數(shù)可作較長(zhǎng)時(shí)間的安排。
定期維修方式適用于已充分掌握設(shè)備磨損規(guī)律和在生產(chǎn)過(guò)程中平時(shí)難以停機(jī)維修的流程生產(chǎn)設(shè)備、自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)中的主要生產(chǎn)設(shè)備及連續(xù)運(yùn)行的動(dòng)能生產(chǎn)設(shè)備。
半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備
廢氣介紹:由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高,通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣,因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類(lèi):酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。
廢氣危害:半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒(méi)有經(jīng)過(guò)很好的處理進(jìn)行排放,將造成嚴(yán)重的問(wèn)題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環(huán)境,造成環(huán)境污染的公害事件等,也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。
廢氣處理設(shè)備處理方法:依據(jù)這些廢氣的特性,在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法,針對(duì)不同污染物,可采取以下綜合處理方法:1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)。
光解廢氣處理設(shè)備規(guī)格
靜電除塵是將含塵氣體通過(guò)強(qiáng)電場(chǎng),使粉塵顆粒帶電,在其通過(guò)除塵電極時(shí),帶正/負(fù)電荷的微粒分別被負(fù)/正電極板吸附,從而去除氣體中的粉塵。靜電除塵器除塵效率較高,但其除塵效率受粉塵比電阻的影響很大,易導(dǎo)致除塵效率不穩(wěn)定。20世紀(jì)90年代以后,廢氣處理設(shè)備靜電除塵器在火力發(fā)電、水泥窯等高溫、氣量、工況較復(fù)雜的污染治理中應(yīng)用廣泛。袋式除塵器是利用纖維濾料捕集含塵氣體中的固體顆粒物,形成過(guò)濾塵餅,并通過(guò)過(guò)濾塵餅進(jìn)一步過(guò)濾微細(xì)塵粒,以達(dá)到除塵的目的。廢氣處理設(shè)備酸霧廢氣(1)主要來(lái)源:化工、電子、冶金、電鍍、紡織(化纖)、食品、機(jī)械制造等行業(yè)過(guò)程中排放的酸、堿性廢氣,如調(diào)味食品、制酸、酸洗、電鍍、電解、蓄電池等。袋式除塵技術(shù)可以穩(wěn)定地達(dá)到很高的除塵效率,粉塵排放量可以達(dá)到5mg/m3以?xún)?nèi),且除塵效率不受粉塵比電阻等粉塵特性的影響。光解廢氣處理設(shè)備規(guī)格