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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務!
如需要烤版,烤版時要注意:①首先要選好烤版膠,烤版膠不能太臟。如用固體桃膠配制,一定要用熱水溶膠,膠要徹底溶開、過濾再用。②把適量的烤版膠涂在版面上,用海綿將版面涂擦均勻。③烤版膠不能用干布擦拭。④版材在烘版箱中烘烤,圖像區(qū)域會均勻變色。不同的PS版,烘烤時間、溫度及終顏色會不一致,所以需通過試驗確定烤版條件。光刻工藝是半導體器件制造工藝中的一個重要步驟,利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫器件結構,再通過刻蝕工藝將掩膜上的圖形轉(zhuǎn)換到襯底上。
制版(platemaking)是將原稿成印版的統(tǒng)稱。有將鉛活字排成活字版,以及用活字版打成紙型現(xiàn)澆鑄成凸版和將圖像經(jīng)照像或電子分色獲得底片,用底片曬制凸版、平版、凹版等一系列的制版方法。在制版中影響印版質(zhì)量的因素,主要有顯影液濃度、顯影溫度和顯影時間以及顯影液的循環(huán)攪拌情況、顯影液的疲勞程度等。其圖形結構可通過制版工藝加工獲得,常用加工設備為直寫式光刻設備,如激光直寫光刻機、電子束光刻機等。
PS版的顯影時間主要由PS版的種類、曝光時間及顯影液的濃度、顯影溫度等條件來確定。當上述條件確定制版機后,PS版的顯影程度與顯影時間成正比關系,即顯影時間越長,顯影越徹底。但顯影時間過長會產(chǎn)生網(wǎng)點縮小等現(xiàn)象。
接觸光刻技術中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實際掩模的尺寸相同。i在襯底上形成的圖案是1∶1,并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式曝光i光線;另一方面,縮微技術中使用的掩模具有表面特征圖案的實際尺寸。i在襯底上形成的圖案的幾次通過光學系統(tǒng)投影模式曝光i光明。隨著沖版量的不斷增加和空氣中的CO2不斷溶入,顯影液中的OH-濃度會下降,pH值將越來越低,顯影時間應慢慢變長,至后在正常曝光條件下PS版無法顯影,這就是顯影液疲勞的現(xiàn)象。
石英掩膜版
蘇達掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版