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蘇州玻璃板給您好的建議,光刻板

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發(fā)布時(shí)間:2020-07-30 05:54  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

數(shù)字圖像處理中,圖像掩模主要用于:①提取感興趣區(qū),用預(yù)先制作的感興趣區(qū)掩模與待處理圖像相乘,得到感興趣區(qū)圖像,感興趣區(qū)內(nèi)圖像值保持不變,而區(qū)外圖像值都為0。通過(guò)光刻制版工藝,將微米級(jí)和納米級(jí)的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。②屏蔽作用,用掩模對(duì)圖像上某些區(qū)域作屏蔽,使其不參加處理或不參加處理參數(shù)的計(jì)算,或僅對(duì)屏蔽區(qū)作處理或統(tǒng)計(jì)。③結(jié)構(gòu)特征提取,用相似性變量或圖像匹配方法檢測(cè)和提取圖像中與掩模相似的結(jié)構(gòu)特征。④特殊形狀圖像的制作。


光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。





待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構(gòu)成。其圖形結(jié)構(gòu)可通過(guò)制版工藝加工獲得,常用加工設(shè)備為直寫式光刻設(shè)備,如激光直寫光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)等。

掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))等。什么是光刻掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu),稱為光刻掩模版。





掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。光掩膜一般也稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過(guò)曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過(guò)類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結(jié)構(gòu)的掩模板通常使用電子束光刻機(jī)直接制備,其制作過(guò)程就是典型的光刻工藝過(guò)程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過(guò)程。



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