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杭州光刻板信息推薦

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發(fā)布時(shí)間:2020-08-13 07:28  






公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!

數(shù)字圖像處理中,圖像掩模主要用于:①提取感興趣區(qū),用預(yù)先制作的感興趣區(qū)掩模與待處理圖像相乘,得到感興趣區(qū)圖像,感興趣區(qū)內(nèi)圖像值保持不變,而區(qū)外圖像值都為0。②屏蔽作用,用掩模對(duì)圖像上某些區(qū)域作屏蔽,使其不參加處理或不參加處理參數(shù)的計(jì)算,或僅對(duì)屏蔽區(qū)作處理或統(tǒng)計(jì)。③結(jié)構(gòu)特征提取,用相似性變量或圖像匹配方法檢測(cè)和提取圖像中與掩模相似的結(jié)構(gòu)特征。如果圖形通過(guò)掩膜版在芯片兩面多次顯影,這種方法就是熟稱的曝光,這個(gè)時(shí)候的掩膜也可稱為光罩。④特殊形狀圖像的制作。


使用無(wú)掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對(duì)帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長(zhǎng)405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)

經(jīng)過(guò)顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層






光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡(jiǎn)稱掩膜版,是微納加工技術(shù)常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結(jié)構(gòu),再通過(guò)曝光過(guò)程將圖形信息轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品基片上。

1) 繪制生成設(shè)備可以識(shí)別的掩膜版版圖文件(GDS格式)2) 使用無(wú)掩模光刻機(jī)讀取版圖文件,對(duì)帶膠的空白掩膜版進(jìn)行非接觸式曝光(曝光波長(zhǎng)405nm),照射掩膜版上所需圖形區(qū)域,使該區(qū)域的光刻膠(通常為正膠)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)3) 經(jīng)過(guò)顯影、定影后,曝光區(qū)域的光刻膠溶解脫落,暴露出下面的鉻層4) 使用鉻刻蝕液進(jìn)行濕法刻蝕,將暴露出的鉻層刻蝕掉形成透光區(qū)域,而受光刻膠保護(hù)的鉻層不會(huì)被刻蝕,形成不透光區(qū)域。這樣便在掩膜版上形成透光率不同的平面圖形結(jié)構(gòu)。5) 在有必要的情況下,使用濕法或干法方式去除掩膜版上的光刻膠層,并對(duì)掩膜版進(jìn)行清洗。光刻板的應(yīng)用光刻技術(shù)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件,集成電路制造過(guò)程中。






接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實(shí)際掩模的尺寸相同。i在襯底上形成的圖案是1∶1,并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式曝光i光線;烤版時(shí)還要注意:①烤版箱內(nèi)的紅外燈管一定要橫向排列,如縱向排列,往往導(dǎo)致印版瓦楞狀變形而影響使用。另一方面,縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實(shí)際尺寸。i在襯底上形成的圖案的幾次通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)投影模式曝光i光明。 






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