普旭真空泵油乳化的預(yù)防措施

     我們在普旭真空泵的使用過程中，就老是會發(fā)現(xiàn)普旭真空泵油乳化了，那是為什么呢？原來是真空泵在運(yùn)行過程中吸入了腐蝕性氣體（也可能是有水汽的空氣和冷氣體），吸入的腐蝕性氣體會腐蝕泵內(nèi)的金屬零件，然后和真空泵油產(chǎn)生化學(xué)變化，就形成了真空泵油乳化（含有水汽的空氣和冷氣體也會引起真空泵油乳化）。

   知道了原因，那就好應(yīng)對了，我們可以嚴(yán)防腐蝕性氣體、有水汽的空氣和冷氣體的進(jìn)入，不過更簡便的方法就是買抗乳化的真空泵油，抗乳化性能好真空泵油的油水分離能力比較強(qiáng)，水蒸氣和冷凝氣體可以通過打開氣鎮(zhèn)閥，排除部分水蒸氣，不知道該怎么選抗乳化的真空泵油也沒關(guān)系，大家只要記得低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好，加劑泵油比不加劑泵油效果更為明顯就行了。

真空泵更換真空泵使用油的方法：

1.重力法

  擰開排油閥，將泵體郵箱抬高讓真空泵內(nèi)舊油自動(dòng)的流到旋油螺帽位置讓油流出。舊油放盡后，從真空泵加油處注入少量的干凈真空泵油（100~500ml），沖洗真空泵腔內(nèi)部，接著，開動(dòng)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)1min左右，再關(guān)真空泵，將注入的新油放出。若放出的 油仍不干凈，應(yīng)繼續(xù)注入新的雜油沖洗，直到干凈為止。然后，擰緊排油閥，擰下加油孔上的加油帽，向真空泵內(nèi)加入新的 真空泵油，使油面達(dá)到油標(biāo)線，再旋上加油帽。2.加壓法   將容器放在放油口下方，旋下放油口螺釘。關(guān)閉抽氣口，同時(shí)開啟真空泵，打開氣鎮(zhèn)閥和遮蓋真空泵的部分排氣口，以產(chǎn)生一個(gè)足夠的內(nèi)部壓強(qiáng)，使臟油迅速的放出。然后，按照步驟1沖洗真空泵腔內(nèi)部，換新油。

對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹l底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

　　愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

　　1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)l藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有l機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

真空泵油的主要性能

真空泵油， 極限總壓強(qiáng)和的極限分壓力

　　極限的總壓力:皮拉尼真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)測量所有材料真空泵(氣)總壓強(qiáng)。目前，測試強(qiáng)調(diào)總壓強(qiáng)指數(shù)。

　　極限的分壓力:水星壓縮真空計(jì)(麥克勞德壓力計(jì))限制空氣測量泵壓力，雙旋轉(zhuǎn)葉片泵壓力應(yīng)小于6 * 10-5kPa?？倝簭?qiáng)之間的區(qū)別和極限壓力不超過一個(gè)數(shù)量級。兩者之間的差異越大，真空泵油含有更多的揮發(fā)性成分，油的性質(zhì)就越低。