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噴射真空泵:它是利用文丘里(VENTURI)效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵,適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種:① 液體噴射真空泵:以液體(通常為水)為工作介質(zhì)的噴射真空泵。② 氣體噴射真空泵:以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。③ 蒸汽噴射真空泵:以蒸汽作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵
(4) 擴(kuò)散噴射泵:它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。(5) 離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下,輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
(1)蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵