在整套設(shè)備中，分析儀是核心，所有原始數(shù)據(jù)的獲得全由它完成。分析儀主要包括光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械結(jié)構(gòu)、電子學(xué)測量和控制系統(tǒng)等部分。若粉塵密度太大，以至于發(fā)出的光回不來了，或衰減至一個極低的水平，那么吸收譜線不能分辨，此時這種方法就不適用了。水汽沒有影響也是同樣道理。儀器中空氣吹掃裝置保證煙道內(nèi)光學(xué)元件不被煙氣污染，延長了維護(hù)周期，提高了測量精度。

紫外光譜氣體分析儀采用紫外波段的光源和專用陣列傳感器，來測量在紫外波段對光波有吸收的氣體的濃度，比如SO2、NO等等。紫外光譜氣體分析儀同時采用獨(dú)特的DOAS算法和PLS算法相互結(jié)合的處理方式，消除了顆粒物、水汽、背景氣體的干擾，同時也消除了測量系統(tǒng)波動對測量結(jié)果的影響，保證了測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

光源發(fā)出的光束匯聚進(jìn)入光纖，通過光纖傳到氣體室，穿過氣體室時被待測氣體吸收，由光纖傳輸?shù)焦庾V儀，在光譜儀內(nèi)部經(jīng)光柵分光，由陣列傳感器將分光后的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，獲得氣體的連續(xù)吸收光譜信息。多波段光譜分析技術(shù)（OMA）：由于各種氣體分子在不同波段對光波有不同的吸收，通過對氣體吸收后的連續(xù)光譜的分析，實(shí)現(xiàn)了多種氣體的同時測量。