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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容,沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產脈沖激光沉積,歡迎新老客戶蒞臨。
技術指標:
極限真空度:≤6.7×10 Pa
恢復真空時間:從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系統(tǒng)漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф450球型真空室 ,
基片尺寸:可放置4″可實現(xiàn)公轉換靶位描等基片加熱可連續(xù)回轉,轉速5-60轉/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm可調?! ?
二維掃描機械平臺,執(zhí)行兩自由度掃描,控制的內容主要有公轉換靶、靶自轉、樣品自轉、樣品控溫、激光束掃,
質量流量控制器1路
烘烤溫度:150℃數(shù)顯自動熱偶控溫(高溫爐盤,數(shù)顯自動熱偶控溫可加熱到800℃)
脈沖激光沉積簡介
隨著現(xiàn)代科學和技術的發(fā)展,薄膜科學已成為近年來迅速發(fā)展的學科領域之一,是凝聚態(tài)物理學和材料科學的一個重要研究領域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不僅具有豐富的物理內涵,而且在微電子、光電子、超導材料等領域具有十分廣泛的應用。長期以來,人們發(fā)明了多種制膜技術和方法:真空蒸發(fā)沉積、離子束濺射、磁控濺射沉積、分子束外延、金屬有機化學氣相沉積、溶膠- 凝膠法等。上述方法各有特點,并在一些領域得到應用。但由于其各有局限性,仍然不能滿足薄膜研究的發(fā)展及多種薄膜制備的需要。基板:采用適合于氧氣環(huán)境鉑金加熱片,大小2英寸,加熱溫度可達1200攝氏度,溫度差<。隨著激光技術和設備的發(fā)展,特別是高功率脈沖激光技術的發(fā)展,脈沖激光沉積(PLD)技術的特點逐漸被人們認識和接受
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常規(guī)沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢:
可根據(jù)客戶需求定制產品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關手續(xù), 交貨期短,性價比高;
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