電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。      它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

《高精度差動式多層環(huán)形電容測微儀》電容傳感器是一種通過簡單的機械結(jié)構(gòu)就能實現(xiàn)低功耗、良好的動態(tài)性能以及非接觸式測量等特點的傳感器。電容傳感器能有效檢測到微米級的位移變化，具有非常高的精度，應用前景廣泛。目前主要廣泛應用于地震災害監(jiān)測、航空航天及工業(yè)生產(chǎn)中對微小位移、液位、壓力、重力等參數(shù)的測量。

就先進制造技術的技術實質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術與制造自動化兩大領域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；后者包括了設計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術才能達到預期目標，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達到設計要求。

檢測與誤差補償。尺寸和形位精度可用電子測微儀、電感測微儀、電容測微儀、自準直儀和激光干涉儀來測量。表面粗糙度可用電感式、壓電晶體式表面形貌儀等進行接觸測量，或用光纖法、電容法、超聲微波法和隧道顯微鏡法進行非接觸測量。表面應力、表面變質(zhì)層深度、表面微裂紋等缺陷，可用X光衍射法、激光干涉法等來測量。檢測可采取離線的、在位的和在線的三種方式。誤差預防通過提高機床制造精度、保證加工環(huán)境條件等來減少誤差源及其影響；誤差補償是在誤差分離的基礎上，利用誤差補償裝置對誤差值進行靜態(tài)和動態(tài)補償，以消除誤差本身的影響。

在工業(yè)計量中有很多需要檢測的參數(shù)與位移量的變化有關，如力、流量、溫度、速度、振動、密度、粘度等。所以位移的測量在工業(yè)甚至其他一些領域顯得尤為重要，而電容測微儀作為一種非接觸式的，能夠精準測量微小相對位移、微振動和微小尺寸的儀器，具有溫度穩(wěn)定性好、測量范圍大、測量精度高、動態(tài)響應好、結(jié)構(gòu)簡單等一系列優(yōu)點，它的相對變化量大，能在特殊環(huán)境下工作，如在強光照射下、在核輻射條件、過載沖擊震動環(huán)境等。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測量等領域中具有廣泛應用。