在工業(yè)計(jì)量中有很多需要檢測(cè)的參數(shù)與位移量的變化有關(guān)，如力、流量、溫度、速度、振動(dòng)、密度、粘度等。所以位移的測(cè)量在工業(yè)甚至其他一些領(lǐng)域顯得尤為重要，而電容測(cè)微儀作為一種非接觸式的，能夠精準(zhǔn)測(cè)量微小相對(duì)位移、微振動(dòng)和微小尺寸的儀器，具有溫度穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍大、測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等一系列優(yōu)點(diǎn)，它的相對(duì)變化量大，能在特殊環(huán)境下工作，如在強(qiáng)光照射下、在核輻射條件、過載沖擊震動(dòng)環(huán)境等。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測(cè)量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，工業(yè)生產(chǎn)需要人們對(duì)微位移測(cè)量的精度和定位的精度提出更高的要求。在眾多的測(cè)量?jī)x器當(dāng)中，非接觸式測(cè)量?jī)x器由于其自身的優(yōu)點(diǎn)，成為微位移測(cè)量領(lǐng)域的主流研究方向之一。而電容測(cè)微技術(shù)作為非接觸式測(cè)量微位移的重要手段，具有溫度穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍大、測(cè)量精度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定可靠、使用方便，并可實(shí)現(xiàn)無接觸式測(cè)量等一系列優(yōu)點(diǎn)，特別適宜動(dòng)態(tài)、在線檢測(cè)，并能在特殊環(huán)境下工作特別是隨著集成電路技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，促使電容傳感器揚(yáng)長(zhǎng)避短，使電容傳感器成為一種很有發(fā)展前途的傳感器，近年來得到了大范圍的研究和推廣，廣泛應(yīng)用于航天航空技術(shù)、精密機(jī)械加工以及其他工業(yè)測(cè)控領(lǐng)域中，主要用來測(cè)量各種介質(zhì)的薄膜厚度、金屬微變、微小相對(duì)位移、微小孔徑及各種截面的形狀誤差等。尤其能在強(qiáng)光照射、核輻射條件、過載沖擊震動(dòng)等惡劣環(huán)境下工作。

光學(xué)干涉顯微鏡測(cè)量技術(shù)，包括外差干涉測(cè)量技術(shù)、超短波長(zhǎng)干涉測(cè)量技術(shù)、基于F-P(Febry-Perot)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量技術(shù)等。隨著新技術(shù)、新方法的利用亦具有納米級(jí)測(cè)量精度。外差干涉測(cè)量技術(shù)具有高的位相分辨率和空間分辨率，如光外差干涉輪廓儀具有0.1?nm分辨率；基于頻率跟蹤的F-P標(biāo)準(zhǔn)具測(cè)量技術(shù)具有極高的靈敏度和準(zhǔn)確度,其精度0.001?nm，其測(cè)量范圍受激光器調(diào)頻范圍的限制，僅有0.1?μm。而掃描電子顯微鏡(SEM)可使幾十個(gè)原子大小物體成像。