隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，如今的電容式加速度傳感器都普遍采用的MEMS技術(shù)制造。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)，它的整個(gè)敏感元件由粘在一起的三個(gè)單晶硅片構(gòu)成。其中上、下硅片構(gòu)成兩個(gè)固定電極，中間的硅片通過化學(xué)刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質(zhì)量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當(dāng)薄膜隨質(zhì)量塊運(yùn)動(dòng)時(shí)，空氣流經(jīng)小孔從而產(chǎn)生所需的阻尼力。由于采用MEMS技術(shù)得到了這種一體化的結(jié)構(gòu)，它的可靠性是相當(dāng)高的。那么，容量不足，就會(huì)造成如下的情況：熔膠的運(yùn)動(dòng)會(huì)使合模電子尺的顯示變換，有波動(dòng)，或者合模的運(yùn)動(dòng)會(huì)使射膠電子尺的顯示波動(dòng)，造成測量結(jié)果誤差很大。

傳統(tǒng)電容式傳感器，會(huì)從電極側(cè)面散發(fā)磁力線。這中磁場會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的測量結(jié)果。德國米銥的電容式傳感器帶有一個(gè)接地屏蔽環(huán)，可以有效減少側(cè)面磁場和邊界效應(yīng)，從而得到更加準(zhǔn)確的測量結(jié)果。從接地屏蔽環(huán)發(fā)出的磁力線不會(huì)影響測量結(jié)果。

高的精度測量

電容式測量原理是幾種精度的測量原理之一。但是問題是，如此微小的測量距離會(huì)導(dǎo)致測量信號(hào)變化同樣微小。也就是說，在探頭和被測物體之間僅有很少量的電子可以用來顯示距離的變化。這意味著，如果有很小的漏電流或寄生電流流過探頭到控制器的電路，也會(huì)影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此，探頭到控制器之間的電纜需要特殊的雙屏蔽電纜。這種特殊的，全封閉的RF電纜保證了高信號(hào)質(zhì)量。位移激光傳感器的基本設(shè)計(jì)原理就是在專業(yè)物理學(xué)的基礎(chǔ)長進(jìn)行工學(xué)的改造。雙屏蔽電纜與接地磁屏蔽技術(shù)的使用，使高的精度測量成為可能。

傳感器工作原理簡單，測量功能強(qiáng)，故障少，發(fā)熱量低。直線導(dǎo)體f是直線導(dǎo)體一根交叉固定的非球形孔周邊軸承，成為一個(gè)導(dǎo)體。解決了齒輪變速器的齒根嚴(yán)重磨損和螺紋間隙問題，解決了軸承的工作粘滯問題，幾乎符合軸承發(fā)熱量的要求。目前常用的原裝石英體型齒輪有直軸石英和傾斜軸石英兩種。直軸直軸在m以上的球齒輪被大多數(shù)專業(yè)采用。電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進(jìn)行檢測比較適宜。但是我國固定螺紋套筒中主要存在變差現(xiàn)象