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流量控制器的控制響應(yīng)速度
物理時間常數(shù)
物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示,是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應(yīng)時間的標準之一,即:控制器到達設(shè)定值某個百分比所需要的時間,被定義為1-1/e, 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù),其值為2.72,所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。用戶在訂貨時,需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體,以免因為選型或選擇密封材料錯誤,造成嚴重損失。雖然該定義是一個物理標準,可能說明不了什么問題,因為余下的設(shè)定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到:ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達了設(shè)定值的63.2%。
任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域
不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設(shè)備響應(yīng)速度,比如:從設(shè)定值的10%到達90%所需要的時間。流量器安裝使用注意事項安裝姿勢(方向)1)熱分布式大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢(水平、垂直或傾斜)安裝,有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調(diào)整。由于和后的 10%控制響應(yīng)曲線變化,由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無法與實際的控制性能等同。如下圖所示,ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達設(shè)定值, 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到:50%那段跨度,低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言,如果按照從設(shè)定值10%到達90%所用的時間來定義設(shè)備響應(yīng)速度的話,那么結(jié)論是6~7毫秒。
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如何提高流量控制器的準確度?
提高氣體質(zhì)量流量控制器實用準確度的措施為:
1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù),對該流量計進行“個性化標準”,從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi),該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。
2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié),減少或消除機械應(yīng)力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準確度的影響。
4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。
流量控制器
注意選擇正確的工作壓力指標
不同的產(chǎn)品工作壓力指標可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。
質(zhì)量流量控制器(MFC)除工作壓力之外,還有另一項工作壓力指標:工作壓差,即MFC進氣端和出氣端之間的壓差,選型時要注意,使用時也要注意。
注意選擇合適的精度指標
準確度﹑線性﹑重復(fù)精度是比較重要的幾項指標,其中重復(fù)精度在很多應(yīng)用場合尤為重要。指標不一定追求高,應(yīng)考慮自己的實際需要。
如果對廠家給出的指標不放心,有條件的用戶也可以自己標定一下。標定的方法參見下面的有關(guān)內(nèi)容。