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微型真空泵維修離子鍍膜技術(shù)
PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù),其具體原理是在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場(chǎng)的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。
PVD鍍膜膜層的特點(diǎn),采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系數(shù))、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點(diǎn),膜層的壽命更長(zhǎng);同時(shí)膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。
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微型真空泵維修方法制備有機(jī)功能薄膜的技術(shù)
莫爾定律講的是硅片上的元件密度,這是描述大規(guī)模集成電路進(jìn)行信息加工能力的參量,按照IBM公司1994年發(fā)表的特殊報(bào)告講到的關(guān)于奇妙的芯片:元件的尺寸越小,芯片的功能越大。
信息存儲(chǔ)密度106bit/cm2,可存下一篇30頁(yè);108bit/cm2,能存300頁(yè)的書(shū)10本;1010bit/cm2,存1000本書(shū);1012bit/cm2,存10萬(wàn)本書(shū),對(duì)于一塊3.5"磁盤(pán)可存入500萬(wàn)本書(shū)是可能的。這幾乎是我國(guó)目前省級(jí)圖書(shū)館的全部藏書(shū)。由這個(gè)估算可見(jiàn)存儲(chǔ)密度的提高,其芯片的功能是極其驚人的。這只是量變的推算,應(yīng)該考慮到量變到質(zhì)變產(chǎn)生的功能飛躍。
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微型真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用
早用于廣播、通信和雷達(dá)的電子器件是真空電子管,主要是控制由陰極發(fā)射到真空中的自由電子,用于信號(hào)的振蕩、調(diào)制、發(fā)射、檢測(cè)、放大、存儲(chǔ)和加工.電子管器件的制造,要求真空衛(wèi)生和真空純潔,微電子器件的產(chǎn)生是建立在高純鍺、硅材料的基礎(chǔ)上的,在材料和器件加工過(guò)程中,要求保持比高純還好的半導(dǎo)體純和高度有序的晶體結(jié)構(gòu)。
而微電子器件的下一代的納米電子器件,要求所用材料和組裝加工過(guò)程應(yīng)該好于半導(dǎo)體純,更少的雜質(zhì)和缺陷,更完善的晶體結(jié)構(gòu),所以在研究納米電子器件時(shí),將更多地采用高真空,甚至超高真空進(jìn)行材料制備和器件組裝。