潔凈工程系統(tǒng)主要系統(tǒng)組成

地面系統(tǒng)：一般采用環(huán)氧樹脂潔凈地面。 圍護結(jié)構(gòu)系統(tǒng)：簡單說是頂、墻、地三部分，即組成三維密閉空間的六個面。往細的說包括門窗、裝飾圓弧等；

風管系統(tǒng)：包括送風、回風、新風、排風管道、末端及控制裝置等；空調(diào)系統(tǒng)：包括冷（熱）水機組（包括水泵、冷卻塔等）（或風冷管道機級等），管路、組合式凈化空調(diào)箱（包括混流段、初效段、加熱段、制冷段、除濕段、加壓段、中效段、靜壓段等）。

 潔凈室之構(gòu)成潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁天花板格子梁。(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。(3)隔墻板:包括窗戶、門。(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。當空氣中粉塵通過電場時，粉塵受到負離子的碰撞帶上電荷，帶上電荷后的粉塵同樣受到靜電場的作用，向陽極運動，到達陽極后釋放電荷。(5)照明器具:LED凈化平面燈。

潔 凈 工 程：凈化車間工程應用領域非常廣泛，一般來說對環(huán)境要求比較嚴格、對空氣潔凈度要求高的企業(yè)都需要凈化車間工程。潔凈工程的發(fā)展：20世紀80年代大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路的迅速發(fā)展，大大促進了潔凈工程的發(fā)展，集成電路生產(chǎn)工程從64K位到4M位，特征尺寸從2.04m到0.84m。當時根據(jù)實踐經(jīng)驗，通常空氣潔凈受控環(huán)境的控制塵粒粒徑與線寬的關系為1:10，因此潔凈工程工作者研制了超空氣過濾器，可將粒徑>0.1pm的微粒去除到規(guī)定范圍。十萬級凈化車間標準二：微生物大允許數(shù)，浮游菌數(shù)不超過500個/m。根據(jù)大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要，高純氣體、高純水和高純試劑的生產(chǎn)工程也得到很快的發(fā)展，從而使服務于集成電路等高工程產(chǎn)品所需的潔凈工程都得以高速發(fā)展。

 手是交叉污染的媒介，潔凈廠房的工作人員在接觸工作服之前應洗手，洗手的龍頭不應直接用手開啟，可采用感應式或肘式洗手龍頭。潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境有較高的要求，需要對其生產(chǎn)車間的空氣懸浮粒子濃度進行控制，同時，還需保證一定的溫度、濕度和壓力。為了進一步防止室內(nèi)潔凈空氣通過排水管向外滲漏，同時也為防蟲防鼠，潔凈區(qū)排水出戶管末端在接到室外檢查井之前，往往還增設水封井。2、機械性過濾—HEPA網(wǎng)HEPA中文意思為空氣過濾器，達到HEPA標準的過濾網(wǎng)，對于0。