凈化車間FFU

當(dāng)使用FFU的時(shí)侯，凈化車間的吊頂被分成了若干模塊，每個(gè)模塊就是一個(gè)FFU，這樣我們可以通過(guò)調(diào)節(jié)每個(gè)模塊(即FFU)來(lái)滿足吊頂上部送風(fēng)靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對(duì)該靜壓箱高度的要求。同時(shí)可以節(jié)省巨大的送、回風(fēng)管,故可節(jié)省安裝空間。尤其是在改造工程受到層高限制時(shí)，F(xiàn)FU有效地解決了這一問(wèn)題。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無(wú)塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時(shí)，對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

建設(shè)凈化車間具體的要求

1、生產(chǎn)研究過(guò)程應(yīng)盡可能短，并應(yīng)完成清理渠道的安裝。有必要合理安排凈化車間以供人員使用，包括更衣室，儲(chǔ)藏室，緩沖室和臨時(shí)儲(chǔ)藏室。貨物通過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)有緩沖室，轉(zhuǎn)運(yùn)窗和外包室。

2、嚴(yán)格按照清潔工程的清潔度水平進(jìn)行設(shè)計(jì)和施工，從高到低，從內(nèi)到外。

3、為了防止?jié)崈羰抑g的交叉污染，潔凈室應(yīng)設(shè)計(jì)有不同的空氣凈化室或潔凈室內(nèi)的防污染措施。小物品的轉(zhuǎn)移應(yīng)通過(guò)轉(zhuǎn)移窗口發(fā)送。

4、凈化車間的凈化空氣量應(yīng)確保室內(nèi)正壓所需的空氣量和滿足室內(nèi)排風(fēng)量，并應(yīng)配備潔凈空調(diào)房。

凈化車間工程設(shè)計(jì)與施工關(guān)鍵性問(wèn)題

電話和火警設(shè)備

潔凈廠房設(shè)置電話，對(duì)講電話，可以減少人員在潔凈區(qū)走動(dòng)，減少發(fā)塵量，也可在萬(wàn)一發(fā)生火災(zāi)時(shí)及時(shí)與外部聯(lián)系，也為正常工作聯(lián)系創(chuàng)造條件。此外，還應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)，防止火情不易被外部發(fā)現(xiàn)而造成重大經(jīng)濟(jì)損失。

空調(diào)機(jī)房宜在潔凈室側(cè)面

空調(diào)機(jī)房的位置，其位置宜在潔凈室的側(cè)面，這不但可以節(jié)能，也有利于風(fēng)道的布置，并使氣流組織更加合理，同時(shí)，可以節(jié)省工程費(fèi)用。