廣州市茂美標(biāo)牌加工廠,座落于番禺區(qū)橋南街陳涌工業(yè)區(qū)，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，機(jī)械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，機(jī)械面板腐蝕定制，設(shè)備蝕刻面板加工，腐蝕機(jī)械面板定制，機(jī)箱設(shè)備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，接單領(lǐng)域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，均可加工定制生產(chǎn)。產(chǎn)品還有腐蝕標(biāo)牌，不銹鋼直尺加工、鋁銘牌制作、不銹鋼銘牌制作、機(jī)械設(shè)備控制面板、亞克力標(biāo)牌等。制作工藝：UV印刷、噴漆、絲印、熱轉(zhuǎn)印、凹凸，沖壓、磨光、拉絲、電鍍、氧化、噴砂、激光、注塑、磨光、電鑄、腐蝕等一體化的大型專業(yè)標(biāo)牌加工制作廠。優(yōu)選地，所述干法刻蝕設(shè)備還包括背冷卻裝置，所述背冷卻裝置位于所述下部電極下方。

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本實(shí)用新型涉及干法刻蝕技術(shù)，特別涉及一種干法刻蝕設(shè)備。

技術(shù)背景 圖I為現(xiàn)有干法刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖I所示，干法刻蝕設(shè)備包括反應(yīng)腔(Chamber) 5,設(shè)置于反應(yīng)腔(Chamber) 5上的墊板4、以及設(shè)置于反應(yīng)腔(Chamber) 5中的擋光板I?，F(xiàn)有的干法刻蝕設(shè)備在對(duì)玻璃(Glass)基板進(jìn)行刻蝕的工藝中，由于設(shè)備的上部電極結(jié)構(gòu)復(fù)雜以及設(shè)備老化等原因，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)墊板4斷裂以及其他零部件損壞而導(dǎo)致反應(yīng)腔(Chamber) 5真空泄露(Leak)的現(xiàn)象，由此，大氣會(huì)進(jìn)入反應(yīng)腔(Chamber) 5內(nèi)部,大氣中的氮?dú)獾扰c反應(yīng)腔(Chamber) 5內(nèi)的氣體混合,混合后氣體顏色會(huì)由藍(lán)色變成紅色或黃色，出現(xiàn)顏色異?！，F(xiàn)有結(jié)構(gòu)無(wú)法對(duì)等離子體(Plasma)顏色進(jìn)行監(jiān)控，導(dǎo)致在后工序才能發(fā)現(xiàn)，這會(huì)嚴(yán)重影響良品率。1997年,通過(guò)將管狀型材進(jìn)行粘結(jié)拼接制造出了第d一個(gè)拉擠型纖維增強(qiáng)復(fù)合材料(FRP)橋面板。

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在集成電路制造工藝中,刻蝕是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅表面去除不需要的材料,在硅片上所需圖形的后圖形轉(zhuǎn)移的工藝步驟。干法蝕刻和濕法蝕刻是半導(dǎo)體制造中兩種基本的刻蝕工藝。干法蝕刻各向異性可以實(shí)現(xiàn)細(xì)微圖形的轉(zhuǎn)換,滿足越來(lái)越小的尺寸要求,已成為亞微米及以下尺寸主要的蝕刻方式。在實(shí)際生產(chǎn)中,公司追求產(chǎn)能和良率。就二氧化硅的干法蝕刻而言,需要優(yōu)化諸如蝕刻速率、均勻性、選擇比等蝕刻參數(shù)。因在蝕刻過(guò)程中,刻蝕的理想條件經(jīng)常漂移,工藝工程師不僅需設(shè)定優(yōu)化蝕刻效果的蝕刻菜單,還需在理想條件漂移時(shí)及時(shí)做出調(diào)整。本文選取了影響蝕刻效果的主要工藝參數(shù),如射頻、壓力、蝕刻氣體等做正交試驗(yàn),確定其具體的影響程度,為參數(shù)設(shè)置和調(diào)節(jié)提供依據(jù)。Plasma蝕刻設(shè)備昂貴，但生產(chǎn)過(guò)程中耗費(fèi)的Material非常少，Plasma蝕刻的優(yōu)點(diǎn)在于：蝕刻的精ds確度很好,速度快，蝕刻均一性好，化學(xué)品消耗低（較酸液蝕刻）。

廣州市茂美標(biāo)牌加工廠,座落于番禺區(qū)橋南街陳涌工業(yè)區(qū)，專注于腐蝕面板加工，腐蝕面板定制，不銹鋼面板加工，鋁面板加工，機(jī)械控制面板定做，不銹鋼蝕刻面板加工，機(jī)械面板腐蝕定制，設(shè)備蝕刻面板加工，腐蝕機(jī)械面板定制，機(jī)箱設(shè)備面板定制、電子秤按鍵面板定做等，接單領(lǐng)域主要集中在廣州、深圳 、佛山 、東莞、中山、珠海、江門、肇慶、惠州等地，均可加工定制生產(chǎn)。自重是開合橋橋面板的一個(gè)關(guān)鍵屬性,無(wú)論是豎旋式開合橋還是升降橋,橋面板的自重直接影響橋梁所需壓重以及運(yùn)營(yíng)機(jī)械的驅(qū)動(dòng)力要求。

真空壓力浸滲設(shè)備是解決上述難題行之有效的方法，浸滲劑長(zhǎng)時(shí)間可靠的微孔密封能力和有效的解決浸漏鑄件這一工藝方法得到了世界范圍的廣泛信任。并且可抵抗熱、油、化學(xué)侵蝕。這種處理過(guò)程可以使用在原料、已機(jī)加工零件上。不會(huì)導(dǎo)致尺寸變化，或是鑄件被污染。針對(duì)該特性騰勢(shì)的原材料供應(yīng)商寶鋼集團(tuán)開發(fā)出了一種耐腐蝕的鋼板，即編號(hào)“50/50”的鍍鋅鋼板，它代表了1平方米的面積內(nèi)所含鍍鋅板的重度是50毫克，換算為厚度大概是七微米，車身材料采用鍍鋅板的比例為89%。

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腐蝕前準(zhǔn)備

模具腐蝕前，做裝飾紋處應(yīng)用氧化鎂水漿除油、清洗，再用水槍噴射自來(lái)水1min，以檢查油墨與模具結(jié)合是否牢固。

然后用羊毛排筆蘸腐蝕液刷一遍，無(wú)油墨處應(yīng)呈均勻灰色，完全被水潤(rùn)濕，以保證腐蝕均勻。在上述操作過(guò)程中，如有油墨脫落，應(yīng)立即停止腐蝕，推倒重來(lái)，重新貼花轉(zhuǎn)印。

在正常操作情況下，油墨與模具結(jié)合是非常牢的，發(fā)生脫落原因是操作不當(dāng)，如貼花轉(zhuǎn)印時(shí)，模具潮濕不干，或貼花轉(zhuǎn)印紙上油墨烘得過(guò)干，或貼花轉(zhuǎn)印后沒(méi)有進(jìn)行刮壓，操作時(shí)應(yīng)留心注意。

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