真空設(shè)備制造商“株式會(huì)社ULVAC（愛發(fā)科）”在中國(guó)投資興建的全資公司，于2003年7月在工業(yè)園區(qū)設(shè)立，總投資10,350萬美元，注冊(cè)資本3450萬美元，占地面積七萬多平方米。4、愛發(fā)科真空泵油，愛發(fā)科VDN系列專用油具較底的蒸汽壓，防止油品從泵的內(nèi)腔向真空系統(tǒng)返流擴(kuò)散造成返油。主要為半導(dǎo)體功率器件、集成電路、電力電子、LED等行業(yè)提供芯片生產(chǎn)及研發(fā)的相關(guān)真空設(shè)備，同時(shí)提供設(shè)備及周邊產(chǎn)品的售后服務(wù)。工廠于2011年再度擴(kuò)建，從2012年年初開始，為平板顯示器，太陽電池等制造行業(yè)提供先進(jìn)設(shè)備。

     公司由日本總部提供雄厚的技術(shù)支持，既擁有與日本總部同等的技術(shù)資源，又擁有國(guó)內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商在價(jià)格、交貨期、售后服務(wù)等方面的綜合優(yōu)勢(shì)，受到廣大客戶的一致好評(píng)和厚愛。

真空泵維修廠家溫馨提醒您應(yīng)該定期檢修維護(hù)真空泵設(shè)備：

泵油隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)惡劣，因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況，并及時(shí)替換泵油。替換泵油的周期：每六個(gè)月?lián)Q油清洗一次。泵油替換步驟如下：

A、打開泵的吸氣管，5秒后使其開始運(yùn)行。泵內(nèi)剩下的泵油容易被排除。

B、先拆下排氣管，在打開放油閥，然后倒出泵油

C、關(guān)閉排油閥，把新的真空泵油從加油口注入

D、如果泵油的污染非常嚴(yán)重，必須添加些新泵油，通過幾分鐘運(yùn)轉(zhuǎn)使其得到清洗，假如一遍清洗不到位，必須反復(fù)多清洗幾遍

E、換上新泵油后，讓泵開機(jī)運(yùn)行，等溫度升高以后在確認(rèn)真空極限壓力

F、檢修過程需清洗過濾網(wǎng)

真空泵的選擇及抽速計(jì)算

(1)計(jì)算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根據(jù)真空系統(tǒng)要求的工作壓力pg、真空系統(tǒng)的總氣體量Q，計(jì)算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q為真空系統(tǒng)的總氣體量，Pa. L/s,包括真空系統(tǒng)工作過程中產(chǎn)生的氣體量、真空系統(tǒng)及真空元件的放氣量和真空系統(tǒng)的總漏氣量。

通常將按此式計(jì)算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作為主泵的名義抽速。

(2)確定真空泵的抽速。

根據(jù)有效抽速S以及泵與真空室之間的連接管道的流導(dǎo)U確定主泵的抽速Sp。由流導(dǎo)串聯(lián)公式有

1/S=1/Sp 1/U

(3)根據(jù)被抽氣體種類、成分、溫度以及氣體含灰塵雜質(zhì)情況選真空泵 。

(4)根據(jù)真空室對(duì)油污染要求的不同,來選擇有油、無油、半無油、干式、濕式真空泵。干式真空泵適合于要求絕dui無油或工作液、或?qū)ぷ饕簝?chǔ)存和處理費(fèi)用比較關(guān)切等場(chǎng)合。

(5)根據(jù)投資及日常維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)的經(jīng)濟(jì)指標(biāo)來選擇。

03、前級(jí)泵的配置及抽速確定

主真空泵選定之后,如何配置前級(jí)泵，需遵守的原則是：

① 求前級(jí)泵造成主真空泵工作所需的預(yù)真空條件;

② 抽走主真空泵產(chǎn)生的z大氣體量;

③ 必須滿足主真空泵進(jìn)氣口能工作的z大壓力時(shí)所需的預(yù)抽時(shí)間要求。