半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。冷凝半導(dǎo)體制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣相變?yōu)楣滔?。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性和長正常運(yùn)行時間至關(guān)重要。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您仍然不能隨時運(yùn)轉(zhuǎn)您的制程。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

設(shè)備的參數(shù)相同，但是真空泵內(nèi)在的技術(shù)不一樣，所以可靠性還有噪音震動，這些方面的數(shù)據(jù)也都會存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動更小的設(shè)備應(yīng)用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設(shè)備內(nèi)在的技術(shù)不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會對周圍的環(huán)境帶來影響，也會給我們造成不利的問題發(fā)生，因此大家應(yīng)該正確的去認(rèn)識。適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品，以應(yīng)對當(dāng)今研發(fā)實(shí)驗(yàn)室所面臨的種種挑戰(zhàn)。

在真空泵機(jī)組定期一切換過程中，多次發(fā)生過類似異常。在備用真空泵機(jī)組啟動、原運(yùn)行泵停運(yùn)后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發(fā)現(xiàn)氣水分離器內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)，這是一種異常現(xiàn)象。服務(wù)更換為了實(shí)現(xiàn)您的制程正常運(yùn)行時間目標(biāo)，在計(jì)劃內(nèi)或計(jì)劃外停機(jī)情況下，您需要快速響應(yīng)。好凱德真空科技分析認(rèn)為，真空泵機(jī)組工作不正常，導(dǎo)致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。