愛(ài)德華真空泵性格技術(shù)參數(shù)

一、XD系列干泵（渦旋泵）

真空腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油脂從而確保無(wú)污染；使用壽命更長(zhǎng)，維護(hù)更少；強(qiáng)大的水蒸汽處理能力；XD系列渦旋泵，抽速4.8-35m3／h，極限真空10-2mbar。

二、IDX系列干泵（爪泵）

愛(ài)德華干泵是市場(chǎng)上大型干泵的領(lǐng)導(dǎo)者，同時(shí)也早將干泵應(yīng)用惡劣環(huán)境。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，極限真空10-2mbar

三、機(jī)械泵（油封旋片泵）

EDWARDS推出世界臺(tái)雙模式RV系列真空泵。其獨(dú)特的雙模式方式使該泵性能獨(dú)特，真空高，泵體緊湊，噪音低。 RV系列泵的真空范圍從大氣壓到約0.002mbar。抽氣率3-12 m3／h； EM系列真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、噪音小、低功耗、低工作溫度的特點(diǎn)。抽氣率0.6-275m3／h，極限真空0.002mbar

四、分子泵

英國(guó)愛(ài)德華E2M80真空泵維修要注意哪些問(wèn)題點(diǎn)：

  愛(ài)德華真空泵屬于機(jī)械旋片式真空泵，在使用一定的時(shí)間后，會(huì)出現(xiàn)機(jī)械老

化，配件磨損或者損壞等，這就需要我們做維修，更換相應(yīng)的配件，在維修當(dāng)

中，我們要注意哪些問(wèn)題點(diǎn)？

1,漏油

愛(ài)德華真空泵漏油,主要是在三個(gè)位置,油窗,密封套件,軸承軸封,原因是因?yàn)槊芊饧?

老化引起的,更換相應(yīng)的配件就可以解決.維修后記得清洗油箱,然后再注入愛(ài)德華

真空泵油.

2,真空度達(dá)不到要求

先檢查真空泵的氣密性,檢查是否漏氣,其次打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥,讓真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)30分鐘,抽干

真空泵里面的壓縮蒸汽,排除壓縮蒸汽對(duì)真空泵的影響.通過(guò)以上方法如果不能達(dá)到

理想的真空壓力,就要注意以下：真空泵油是否污染，產(chǎn)生淤泥，油管是否堵塞，

過(guò)濾器是否變形，葉片是否磨損，變形，排氣閥是否變形等，對(duì)真空泵泵體做一

個(gè)全面的檢查，用檢測(cè)儀器檢測(cè)，看看是否變形，磨損等，如有磨損，就得更換

相應(yīng)的配件。

金屬電鍍

如今的某些 制程使用金屬有機(jī)前體物，當(dāng)這些金屬有機(jī)前體物通過(guò)艙室時(shí)， 它們會(huì)產(chǎn)生一些副產(chǎn)品，極有可能將其金屬物沉積 到泵表面上。對(duì)于這些應(yīng)用，通常使用低溫泵以便確保 長(zhǎng)的維修間隔。

氣體減排選擇

每個(gè) CVD 制程都需要某種形式的氣體減排 設(shè)備，以便可以將有毒和危險(xiǎn)的制程副產(chǎn)品安全地 轉(zhuǎn)換為可任意處理的元素。我們對(duì)我們的燃料燃燒 廢氣管理設(shè)備倍感驕傲，因?yàn)樗鼈兡軌蛴行У?將副產(chǎn)品強(qiáng)制重組為安全的化合物。有了多入口 燃料燃燒能力，當(dāng)您不需要對(duì)制程廢氣進(jìn)行除害處理時(shí)， 您可以通過(guò)關(guān)閉主燃燒器來(lái)快速部署環(huán)保模式。

集成式系統(tǒng)和生產(chǎn)層解決方案

僅僅有泵和氣體減排設(shè)備，您 仍然不能隨時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)您的制程。您將需要連接泵排氣管道、 連接管道加熱器（如果需要）、鋪設(shè)供水管道、吹掃管道和 電氣線路，然后讓所有控制信號(hào)準(zhǔn)備就緒。您還 必須考慮雙殼體、氣體泄漏檢測(cè)以及在進(jìn)行工具維護(hù)后 如何進(jìn)行泄漏檢查。所有這些事宜都將占用您的 設(shè)計(jì)時(shí)間和資金。我們了解問(wèn)題所在，因此開(kāi)發(fā)了集成的、 特定于制程的解決方案。

我們的集成式系統(tǒng)已針對(duì)大多數(shù)半導(dǎo)體 CVD 制程進(jìn)行預(yù)設(shè)計(jì)。排氣加熱器針對(duì)適當(dāng)溫度 進(jìn)行設(shè)置以便大程度地降低成本和延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。我們 在需要的位置安裝泄漏檢查端口和閘閥。我們可以 在裝置內(nèi)安裝有毒氣體傳感器并密封整個(gè)系統(tǒng)，最 重要的是，您只需要提供每種所需的水電設(shè)施。我們 會(huì)根據(jù)需要分配吹掃、水、電和控制信號(hào)并打造隨時(shí)可 投入使用的系統(tǒng)。

現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)與真空泵維護(hù)您需要持續(xù)改善設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間 并降低現(xiàn)場(chǎng)管理成本。您是否考慮過(guò) 讓我們的技術(shù)人員常駐或訪問(wèn)您的現(xiàn)場(chǎng)并與您開(kāi)展合作？

我們的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)技術(shù)人員具備數(shù)千工時(shí)的 經(jīng)驗(yàn)，并且參與我們不斷進(jìn)行的培訓(xùn)和認(rèn)證 計(jì)劃，因此您知道，他們始終是您設(shè)備方面的專家。無(wú)論 您需要什么樣的支持，我們都能幫助您讓設(shè)備在您的應(yīng)用 中發(fā)揮佳性能。

摘要：設(shè)備安裝與 試運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備監(jiān)控和 預(yù)防性維護(hù)設(shè)備維修與升級(jí)備件和附件產(chǎn)品培訓(xùn)和建議可提高性能和 效率的升級(jí)物流管理，可 簡(jiǎn)化供應(yīng)鏈緊急熱線和服務(wù) 支持 - 包括正常工作時(shí)間外的支持服務(wù)