真空泵排氣閥工作不正常，當(dāng)然會影響到真空泵的真空度。所以真空泵維修中排氣閥門的拆修顯得至關(guān)重要。    真空泵拆修時，先把泵油放掉一部分，使油面下降到低于油窗。由干進(jìn)口真空泵在使用過程中，真空泵油會被灰、水分或其它臟物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根據(jù)具體情況定期換油。拆開油窗，取下閥片（或閥碗，球珠），檢查它們是否完好，平整，有彈性否，裝配是否牢固，合適，彈子蓋穿孔否。通常閥片應(yīng)當(dāng)能很平整地蓋住排氣孔。大泵的閥片多為鋼片，是用彈簧壓緊的，應(yīng)檢查閥片有無損壞，彈簧是否過硬致使閥片難以跳動。耐油橡膠閥片類則要檢查它們是否變形等。    在真空泵維修故障時，對真空泵進(jìn)行狀況監(jiān)護(hù)，既能延長了真空泵運(yùn)行周期，又能妥善安排維修內(nèi)容，提，節(jié)省人力財力和時間，是先進(jìn)的維修方式。而要實(shí)行此種維修方式，就要建立在及時有效的故障診斷技術(shù)的基礎(chǔ)上，研究真空泵故障診斷就是要達(dá)到實(shí)施預(yù)防真空泵維修。對真空泵排氣閥門進(jìn)行拆修時，要根據(jù)上述步驟來進(jìn)行拆修，也可以送入專業(yè)的真空泵維修廠家進(jìn)行拆修，但是不能擅自拆修，否則可能會損壞設(shè)備。

對于機(jī)械真空泵如旋片式真空泵應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里，溫度宜在15至40度范圍之內(nèi)。在真空泵的進(jìn)氣口處應(yīng)安裝精密過濾器，消除油蒸汽不使它污染整個系統(tǒng)。解決之道：封住泵的進(jìn)氣口使泵運(yùn)轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點(diǎn)。每次啟動真空泵前，應(yīng)用手轉(zhuǎn)動或斷續(xù)啟動幾次，將旋片真空泵內(nèi)油排出真空泵外，減少啟動時的阻力。真空泵使用油，一般3~6個月更換一次，以免增加真空泵維修保養(yǎng)起來的難度。真空泵抽除含有可凝性蒸汽時精密過濾器。用帶放氣電磁閱是較好的措施，可保證停泵時即對真空泵放大氣。

近年來, 受半導(dǎo)體制造、液晶注入、太陽能電池生產(chǎn)、電子器件等新興行業(yè)和薄膜制備、化工、制藥等傳統(tǒng)行業(yè)的帶動, 多級羅茨干泵作為核心裝備之一, 其研制和生產(chǎn)越來越受到重視。真空泵原因，這與人有病要去醫(yī)的簡單道理一樣，因?yàn)檎婵毡镁S修是真空泵管理的一個重要內(nèi)容，一方面通過維修更換已損壞或可能將損壞的零部件，調(diào)整長期運(yùn)行中變化了的一些機(jī)械參數(shù)，使真空泵維修后，真空泵能夠提高效率，維持至下一維修周期內(nèi)不發(fā)生意外故障。多級羅茨干泵滿足了IC 裝備制造業(yè)的工作溫度高、長期運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定、噪聲低、維護(hù)簡單、清潔無油等眾多要求, 是很有發(fā)展前景的一種干式真空泵。但是, 除了加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入昂貴等制約因素外, 其設(shè)計理論和制造工藝亟待提高, 尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內(nèi)的熱力學(xué)分析、轉(zhuǎn)子表面涂層、噪聲振動等難點(diǎn)問題, 制約了多級羅茨干泵研制和生產(chǎn)。